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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請的專利高溫真空密封獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115516616B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202180033050.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)高溫真空密封是由穆罕納德·穆斯塔法;穆罕默德·M·拉希德設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-04-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本高溫真空密封在說明書摘要公布了：描述了氣體分配組件和包括氣體分配組件的處理腔室。氣體分配組件包括氣體分配板、蓋、和主要O形環(huán)。將主要O形環(huán)放置于氣體分配板的第一接觸表面的凈化通道和第二接觸表面之間。描述了使用公開的氣體分配組件密封處理腔室的方法。

本發(fā)明授權(quán)高溫真空密封在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氣體分配組件，包括： 氣體分配板，所述氣體分配板具有前表面及背表面以界定厚度，所述氣體分配板包括延伸穿過所述氣體分配板的所述厚度的多個孔，所述氣體分配板在外邊緣處具有密封區(qū)域，所述密封區(qū)域具有第一接觸表面及第二接觸表面，所述第一接觸表面包括在所述第一接觸表面中形成的凈化通道； 蓋，所述蓋具有前表面及背表面以界定厚度，放置所述蓋的所述前表面相鄰于所述氣體分配板的所述背表面，所述蓋包括凈化氣體管線入口及凈化氣體管線出口，所述凈化氣體管線入口在所述前表面處具有開口，所述凈化氣體管線出口在所述前表面處具有開口，所述入口開口及所述出口開口與所述第一接觸表面的所述凈化通道對準(zhǔn)； 主要O形環(huán)，在所述第一接觸表面的所述凈化通道及所述第二接觸表面之間放置所述主要O形環(huán)； 間隔器環(huán)，所述間隔器環(huán)具有內(nèi)部表面及背表面，所述內(nèi)部表面相鄰于所述氣體分配板的外部表面，所述背表面相鄰于所述氣體分配板的所述密封區(qū)域中的第三接觸表面；和 間隔器環(huán)凈化氣體管線，所述間隔器環(huán)凈化氣體管線從所述背表面延伸穿過所述氣體分配板至所述第三接觸表面，所述間隔器環(huán)凈化氣體管線包括間隔器環(huán)凈化氣體管線入口及間隔器環(huán)凈化氣體管線出口，所述間隔器環(huán)凈化氣體管線入口在所述氣體分配板的所述背表面處具有開口，所述間隔器環(huán)凈化氣體管線出口在所述氣體分配板的所述背表面處具有開口，所述入口開口及所述出口開口與間隔器環(huán)凈化通道對準(zhǔn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。