KELK株式會社五藤大輔獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉KELK株式會社申請的專利處理液調溫裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114993097B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210168936.X,技術領域涉及:F28F21/04;該發明授權處理液調溫裝置是由五藤大輔;小林敦設計研發完成,并于2022-02-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本處理液調溫裝置在說明書摘要公布了:處理液調溫裝置具備:塊體,其呈由碳化硅燒結體構成的一體結構,并具有供半導體處理液在內部流通的流路;以及溫度調整部,其設置于塊體,進行在流路中流通的半導體處理液的溫度調整。由此,能夠削減部件數量,實現小型化及成本降低。另外,能夠提高處理液與溫度調整部之間的熱傳導,能夠提高熱交換效率。
本發明授權處理液調溫裝置在權利要求書中公布了:1.一種處理液調溫裝置,具備: 塊體,其呈由碳化硅燒結體構成的一體結構,并具有在內部形成的供半導體處理液流通的流路、以及將該流路與外部隔開的隔壁;以及 溫度調整部,其設置于所述塊體的外表面,經由所述隔壁而與所述半導體處理液進行熱交換, 所述塊體具有在厚度方向上相互分離地配置的作為所述外表面的第一主面及第二主面, 所述塊體具備: 第一碳化硅材料,其具有所述第一主面,并在與該第一主面相反一側的面形成有形成所述流路的一部分的第一流路槽; 第二碳化硅材料,其具有所述第二主面,并在與該第二主面相反一側的面形成有形成所述流路的一部分的第二流路槽;以及 第三碳化硅材料,其設置于所述第一碳化硅材料與所述第二碳化硅材料之間,與所述第一流路槽一起形成第一流路,并且與所述第二流路槽一起形成第二流路,并具有使這些第一流路及第二流路相互連通的連通部, 所述塊體為由所述第一碳化硅材料、所述第二碳化硅材料及所述第三碳化硅材料形成的一體結構。
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