株式會社斯庫林集團巖崎晃久獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利襯底處理方法及襯底處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114975111B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210171497.8，技術領域涉及：H01L21/311；該發明授權襯底處理方法及襯底處理裝置是由巖崎晃久;奧野泰利;鰍場真樹設計研發完成，并于2022-02-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本襯底處理方法及襯底處理裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及一種襯底處理方法及襯底處理裝置。襯底處理方法是對主面具有金屬層的襯底進行處理。所述襯底處理方法包含：氧化金屬層形成工序，通過向所述襯底的主面供給氧化性流體，而在所述金屬層的表層形成含有1個原子層或數個原子層的氧化金屬層；及氧化金屬層去除工序，通過向所述襯底的主面供給含有氣態水及霧態水中的至少任一個、以及和所述水一起與所述氧化金屬層進行反應的反應性氣體的蝕刻流體，而對所述氧化金屬層進行蝕刻以將其從所述襯底選擇性地去除。而且，通過執行至少1次以所述氧化金屬層形成工序及所述氧化金屬層去除工序為1個循環的循環處理，而在每次循環中以納米以下的精度控制所述金屬層的蝕刻量。
本發明授權襯底處理方法及襯底處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理方法，對主面具有含有III族金屬的氮化金屬層的襯底進行處理，且包含： 氧化金屬層形成工序，通過向所述襯底的主面供給氧化性流體，而在所述氮化金屬層的表層形成含有1個原子層或數個原子層的氧化金屬層；及 氧化金屬層去除工序，通過向所述襯底的主面供給含有氣態水及霧態水中的至少任一個、以及和所述水一起與所述氧化金屬層進行反應的反應性氣體的蝕刻流體，而對所述氧化金屬層進行蝕刻以將其從所述襯底選擇性地去除；且 通過執行至少1次以所述氧化金屬層形成工序及所述氧化金屬層去除工序為1個循環的循環處理，而在每次循環中以5nm以下的精度控制所述氮化金屬層的蝕刻量。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號