蘇州精瀨光電有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司肖治祥獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州精瀨光電有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司申請的專利一種晶圓料盒自動上下料機構及其自動上下料方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114724990B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210226746.9,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權一種晶圓料盒自動上下料機構及其自動上下料方法是由肖治祥;朱濤;葉坤;商秋鋒設計研發完成,并于2022-03-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓料盒自動上下料機構及其自動上下料方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種晶圓料盒自動上下料機構及其自動上下料方法,所述晶圓料盒自動上下料機構包括循環傳送帶機構、若干料盒定位治具,所述料盒定位治具排布在所述循環傳送帶機構上;所述循環傳送帶機構包括上層傳送帶機構及其下方的下層傳送帶機構,以及第一升降機構和第二升降機構;所述第一升降機構位于所述下層傳送帶機構沿傳送方向的一端,所述第二升降機構位于所述下層傳送帶機構的另一端;所述第一升降機構、所述第二升降機構在所述上層傳送帶機構和所述下層傳送帶機構之間往復運動,銜接所述上層傳送帶機構和所述下層傳送帶機構。本發明公開的一種利用立體上下層回流結構來滿足晶圓料盒自動上下料的機構,占用空間小且有足量緩存區。
本發明授權一種晶圓料盒自動上下料機構及其自動上下料方法在權利要求書中公布了:1.一種晶圓料盒自動上下料機構,其特征在于,包括循環傳送帶機構和用于放置晶圓料盒的若干料盒定位治具(5),所述若干料盒定位治具(5)排布在所述循環傳送帶機構上;所述循環傳送帶機構包括上層傳送帶機構(1)、位于所述上層傳送帶機構(1)下方的下層傳送帶機構(2)以及第一升降機構(3)和第二升降機構(4); 所述上層傳送帶機構(1)上設有測試取放料位,所述測試取放料位為所述上層傳送帶機構(1)沿傳送方向的最末治具位; 所述第一升降機構(3)位于所述下層傳送帶機構(2)沿傳送方向的一端,所述第二升降機構(4)位于所述下層傳送帶機構(2)與所述第一升降機構(3)位置相對的一端; 所述第一升降機構(3)、所述第二升降機構(4)在所述上層傳送帶機構(1)和所述下層傳送帶機構(2)之間往復運動,銜接所述上層傳送帶機構(1)和所述下層傳送帶機構(2); 所述測試取放料位上設置有感應晶圓料盒的第一傳感器(601),當所述第一傳感器(601)檢測到所述測試取放料位上有晶圓料盒時,所述上層傳送帶機構(1)停止傳送;所述上層傳送帶機構(1)在傳送方向的末端設有感應所述料盒定位治具(5)的第二傳感器(602)。
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