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龍圖騰網獲悉深圳大學申請的專利一種基于懸臂梁薄膜的光纖氫氣傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114705657B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210252707.6，技術領域涉及：G01N21/45；該發明授權一種基于懸臂梁薄膜的光纖氫氣傳感器及其制備方法是由劉申;陳培敬;王義平設計研發完成，并于2022-03-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于懸臂梁薄膜的光纖氫氣傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于懸臂梁薄膜的光纖氫氣傳感器，包括：光纖，一端面上具有向內延伸的一腔室；平面結構的懸臂梁薄膜，設置于所述光纖具有所述腔室的端面上，且位于所述腔室前方。該光纖氫氣傳感器的懸臂梁薄膜厚度為納米量級，從而對外界氫氣濃度探測更加靈敏，且法布里珀羅干涉儀的腔室受外界的光照、溫度等影響較小。本發明還提供上述氫氣傳感器的制備方法。

本發明授權一種基于懸臂梁薄膜的光纖氫氣傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種基于懸臂梁薄膜的光纖氫氣傳感器制備方法，其特征在于，所述光纖氫氣傳感器包括： 光纖，一端面上具有向內延伸的一腔室； 平面結構的懸臂梁薄膜，設置于所述光纖具有所述腔室的端面上，且位于所述腔室前方； 所述光纖包括纖芯和包層，所述腔室至少位于所述纖芯的端面上，所述纖芯與所述腔室的中心相對應，所述包層與所述腔室的外圍相對應，且所述腔室的范圍不超出所述包層；所述懸臂梁薄膜包括位于同一平面上的薄膜外圍和薄膜懸臂，所述薄膜外圍固定在所述光纖端面的包層上，具有與所述腔室相對應的鏤空區；所述薄膜懸臂位于所述薄膜外圍的鏤空區內，一端與所述薄膜外圍固定，另一端懸浮于所述腔室前方且與所述光纖端面的纖芯相對應；所述薄膜懸臂在所述光纖端面上的投影位于所述腔室內，且覆蓋所述光纖端面的纖芯； 所述制備方法步驟如下： S1：在光纖的一端面上制作向內延伸的一腔室； S2：在所述光纖具有所述腔室的端面上制作平面結構的懸臂梁薄膜，所述懸臂梁薄膜位于所述腔室前方； 步驟S1中，在光纖的一端面上制作向內延伸的一腔室的步驟如下： S1.1：將兩根光纖的各自一端面切平； S1.2：將兩根光纖中已切平的端面加熱為圓弧形狀； S1.3：在兩根光纖中圓弧形狀的端面上涂抹折射率匹配液； S1.4：將兩根光纖中已涂抹所述折射率匹配液的端面加熱熔接，同時使所述折射率匹配液汽化而在兩根光纖的熔接處形成氣泡腔； S1.5：從所述氣泡腔中間將已熔接的兩根光纖切斷，得到一端面上具有所述腔室的兩根光纖； 所述懸臂梁薄膜包括懸浮薄膜層、支撐薄膜層以及氫敏感薄膜層，步驟S2中，在所述光纖具有所述腔室的端面上制作平面結構的懸臂梁薄膜的步驟如下： S2.1：在所述光纖具有所述腔室的端面上制作一層懸浮薄膜層； S2.2：在所述懸浮薄膜層上制作一層支撐薄膜層； S2.3：根據所述懸臂梁薄膜的平面結構，對所述懸浮薄膜層和支撐薄膜層進行刻蝕； S2.4：在所述支撐薄膜層上制作一層氫敏感薄膜層。

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