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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備研究所(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所)申請(qǐng)的專(zhuān)利一種方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114664722B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202210284294.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)是由王家林;羅楊;崔潔;牛巖;祁雪飛;菅彥彬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-03-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，該方法包括：獲取待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓對(duì)應(yīng)的目標(biāo)圖像；基于目標(biāo)圖像，確定待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的角度信息；基于四條邊的角度信息，確定第一旋轉(zhuǎn)角度；控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)按照第一旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；基于第一旋轉(zhuǎn)角度以及四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置，確定待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置，以及旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置與目標(biāo)位置之間的偏移距離；基于偏移距離控制移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)，以使待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓移動(dòng)至測(cè)量坐標(biāo)系中的目標(biāo)位置完成位置對(duì)準(zhǔn)。通過(guò)采用上述方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，解決了無(wú)法對(duì)方形晶圓進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題。

本發(fā)明授權(quán)一種方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法包括： 接收待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓已放入目標(biāo)晶圓槽位的反饋信號(hào)，獲取所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓對(duì)應(yīng)的目標(biāo)圖像； 基于所述目標(biāo)圖像，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的角度信息，基于四條邊的角度信息，確定第一旋轉(zhuǎn)角度； 控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)按照所述第一旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓在測(cè)量坐標(biāo)系中與橫坐標(biāo)軸成目標(biāo)角度進(jìn)行擺放； 基于所述第一旋轉(zhuǎn)角度以及四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置，確定待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置，以及旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置與目標(biāo)位置之間的偏移距離； 基于所述偏移距離控制移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)，以使所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓移動(dòng)至測(cè)量坐標(biāo)系中的目標(biāo)位置完成位置對(duì)準(zhǔn)； 所述基于所述目標(biāo)圖像，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的角度信息，包括： 獲取目標(biāo)圖像中每個(gè)像素點(diǎn)的灰度值，針對(duì)每個(gè)像素點(diǎn)，確定與該像素點(diǎn)相鄰的多個(gè)相鄰像素點(diǎn)分別與該像素點(diǎn)的灰度值的差值； 將相鄰兩個(gè)像素點(diǎn)的差值，確定為相鄰兩個(gè)像素點(diǎn)的梯度； 將多個(gè)大于梯度閾值的對(duì)應(yīng)的像素點(diǎn)，確定為所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的多個(gè)邊緣像素點(diǎn)； 基于所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的多個(gè)邊緣像素點(diǎn)，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的位置信息，所述位置信息包括四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的位置； 基于所述四條邊的位置，確定四條邊的角度信息。

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