湖南維尚科技有限公司崔志文獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉湖南維尚科技有限公司申請的專利燒結爐及氮化硅粉末燒結方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114838585B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210562375.1,技術領域涉及:F27B5/04;該發明授權燒結爐及氮化硅粉末燒結方法是由崔志文;柴神洲;劉建輝;歐鵬設計研發完成,并于2022-05-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本燒結爐及氮化硅粉末燒結方法在說明書摘要公布了:燒結爐,包括爐殼、裝在爐殼內的保溫筒、裝在保溫筒內的均溫筒,均溫筒與保溫筒之間形成氣體流動腔,氣體流動腔中裝有由外部控制器控制且具有發熱和溫度傳感功能的感應發熱件,其特征在于:所述的爐殼內裝有抽動均溫筒內的氣體在均溫筒和氣體流動腔間循環流動的內循環組件,內循環組件由外部控制器控制運行。本發明避免高熱量在均溫筒中聚焦,提高燒結的可靠性,以提升粉體的燒結活性;即可有效防止均溫筒內溫度過限對產品產生影響,又可降低能耗;保溫筒內的氣體流動方向呈不定向動態變化,使得均溫筒內不同位置的燒結產品品質趨于穩定一致,提高燒結的可靠性。本發明還提供一種氮化硅粉末燒結方法。
本發明授權燒結爐及氮化硅粉末燒結方法在權利要求書中公布了:1.一種燒結爐的氮化硅粉末燒結方法,其特征在于,所述的燒結爐,包括爐殼、裝在爐殼內的保溫筒、裝在保溫筒內的均溫筒,均溫筒與保溫筒之間形成氣體流動腔,氣體流動腔中裝有由外部控制器控制且具有發熱和溫度傳感功能的感應發熱件,所述的爐殼內裝有抽動均溫筒內的氣體在均溫筒和氣體流動腔間循環流動的內循環組件,內循環組件由外部控制器控制運行; 所述的內循環組件包括將均溫筒內的氣體抽出的抽風機和限制抽風機抽出的氣體向保溫筒外流出的風罩; 所述的均溫筒一端設有供抽風機抽出氣體的抽風口,另一端設有供氣體回流進入均溫筒中的回流進風口; 所述的均溫筒包括均溫筒體、與均溫筒體端配合的均溫門一和與均溫筒體另一端配合的均溫門二,抽風口開設在均溫門一上; 所述的均溫門一和均溫門二為由外部控制器控制的活動門,均溫門二在保溫筒中運動與均溫筒體分開,在均溫筒體與均溫門二之間形成回流進風口; 所述的保溫筒包括保溫筒體、與保溫筒體一端配合的保溫門一和與保溫筒體另一端配合的保溫門二,保溫門一與均溫門一同側設置,保溫門二與均溫門二同側設置,抽風機沿中軸線設置,抽風機的電機端定位在爐殼上,抽風機的抽風槳葉端穿過保溫門一并伸入至抽風口中; 所述的風罩裝在保溫筒體上,將保溫門一所在一端的罩住,抽風機穿過風罩和保溫門一伸入至抽風口中; 將硅粉裝載在均溫筒內并向氣體流動腔中輸入反應氣氛氣體,通過外部控制器控制感應發熱件發熱使均溫筒內升溫對硅粉進行燒結,燒結過程中外部控制器控制內循環組件將氣體從均溫筒內抽出至氣體流動腔中,并在氣體流動腔中流動再回流至均溫筒內,形成氣體在均溫筒與氣體流動腔間的內循環; 通過感應發熱件實時監測內氣體流動腔中的氣體溫度并發送至外部控制器,外部控制器根據接收的氣體溫度信息,對感應發熱件的輸出功率進行調整; 監測氣體流動腔中的實時氣壓并發送至外部控制器,外部控制器根據接收的氣壓信息,調整抽風機的輸出功率、回流進風口的大小以及輸入反應氣氛氣體的流量、流速,以調整氣體在均溫筒和氣體流動腔間的流速、流量和流向,對均溫筒和氣體流動腔中的氣壓進行調節,使兩者的氣壓波動變化,氣壓波動使氣體流向發生動態變化,避免保溫筒內氣體在衡定方向流動。
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