萬華化學(xué)集團電子材料有限公司崔曉坤獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉萬華化學(xué)集團電子材料有限公司申請的專利一種減少凹陷的鎢插塞化學(xué)機械拋光液及其應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN117328068B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210718712.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23F3/06；該發(fā)明授權(quán)一種減少凹陷的鎢插塞化學(xué)機械拋光液及其應(yīng)用是由崔曉坤;卞鵬程;王慶偉;徐賀;李國慶;王瑞芹;王永東;衛(wèi)旻嵩設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-06-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種減少凹陷的鎢插塞化學(xué)機械拋光液及其應(yīng)用在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種減少凹陷的鎢插塞化學(xué)機械拋光液及其應(yīng)用，所述拋光液包含如下質(zhì)量百分含量的組分：2%?20%研磨劑、0.5％～5％氧化劑、0.01％～0.5％鎢催化劑，0.01%?0.05%腐蝕抑制劑，其余部分為去離子水。本發(fā)明的鎢插塞化學(xué)機械拋光液能有效的去除鎢，且具有較少凹陷的特點。
本發(fā)明授權(quán)一種減少凹陷的鎢插塞化學(xué)機械拋光液及其應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了：1.一種減少凹陷的鎢插塞化學(xué)機械拋光液，其特征在于，包含如下質(zhì)量百分含量的組分：2%-20%研磨劑、0.5％～5％氧化劑、0.01％～0.5%鎢催化劑，0.01%-0.05%腐蝕抑制劑，余量為去離子水； 所述腐蝕抑制劑為含有硝基且含有非共軛結(jié)構(gòu)的雜環(huán)物質(zhì)，選自1,4-二亞硝基哌嗪、1-甲基-4-亞硝基哌嗪中的至少任一種； 所述的氧化劑選自過氧化氫、過硫酸鉀、過硫酸銨、次氯酸鈉或次氯酸鉀中的一種或多種； 所述鎢催化劑為鐵鹽。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人萬華化學(xué)集團電子材料有限公司，其通訊地址為：264006 山東省煙臺市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)北京中路50號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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