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龍圖騰網(wǎng)獲悉長(zhǎng)春長(zhǎng)光圓辰微電子技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種石英常溫鍵合方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115376966B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210949095.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種石英常溫鍵合方法是由劉佳晶;陳濤;王宣歡;孫萱;方小磊設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-08-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種石英常溫鍵合方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種石英常溫鍵合方法，包括：S100，清洗石英片表面；S200，將兩個(gè)石英片進(jìn)行二氧化硅沉積，在石英片表面生成二氧化硅鍵合膜；S300，對(duì)二氧化硅鍵合膜進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨；S400，使用氫氟酸溶液清洗石英片；S500，使兩個(gè)石英片的二氧化硅鍵合膜相互接觸并通過鍵合機(jī)鍵合石英片。本方案能夠在常溫下高可靠性地實(shí)現(xiàn)石英和石英的鍵合。

本發(fā)明授權(quán)一種石英常溫鍵合方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種石英常溫鍵合方法，其特征在于，包括： S100、使用SC1溶液清洗石英片表面； S200、使用化學(xué)氣相沉積法，將兩個(gè)所述石英片進(jìn)行二氧化硅沉積，在所述石英片表面生成二氧化硅鍵合膜；所述二氧化硅生成源為正硅酸乙酯；生成的二氧化硅鍵合膜厚度為1微米-3微米，防止后續(xù)工藝中二氧化硅鍵合膜被完全去掉； S300、對(duì)所述二氧化硅鍵合膜進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨；經(jīng)過所述S300處理后的所述二氧化硅鍵合膜，輪廓算術(shù)平均偏差Ra小于1納米，均方根粗糙度Rq小于1.5納米； S400、使用氫氟酸溶液清洗所述石英片，將氫氟酸溶液清洗后的石英片進(jìn)行甩干；所述氫氟酸溶液的濃度為2%-5%； S500、使兩個(gè)所述石英片的所述二氧化硅鍵合膜相互接觸并通過鍵合機(jī)鍵合所述石英片；包括如下子步驟： S501、兩個(gè)所述石英片首先依次進(jìn)入等離子腔體，表面激活等離子體； S502、所述石英片進(jìn)入清洗腔體內(nèi)部，進(jìn)行表面親水處理； S503、對(duì)上方的所述石英片施加壓力使兩個(gè)所述石英片發(fā)生鍵合； 在常溫常壓下能夠?qū)崿F(xiàn)石英和石英的鍵合，不會(huì)損害石英界面光學(xué)性能。

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