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龍圖騰網(wǎng)獲悉中山大學(xué)南昌研究院申請(qǐng)的專利一種MEMS芯模的制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116812860B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310728498.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81C3/00；該發(fā)明授權(quán)一種MEMS芯模的制備方法是由劉芹篁;龔躍武;陳婷;李志賢;官盛果;涂良成;楊山清設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-06-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種MEMS芯模的制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于涉及半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種MEMS芯模的制備方法，包括以下步驟：先將硅片的氧化層側(cè)與晶圓襯底通過熱解膜粘合，同時(shí)采用深反應(yīng)離子刻蝕在硅片表面形成所需圖形，并在表面沉積金屬膜；然后將硅片金屬膜側(cè)與晶圓襯底過熱解膜粘合，進(jìn)一步刻蝕形成所需圖形，加熱分離，剝離金屬膜、去除氧化層，即得MEMS芯模；其中，S1和S2中所述熱解膜由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯基膜和涂覆于基膜兩面的亞克力膠層組成。本發(fā)明利用熱解膜與硅片的氧化層和金屬膜相結(jié)合，有效避免疊片及釋放過程中硅片與熱解膜相接觸，從而減少刻蝕過程中或刻蝕完成后對(duì)MEMS芯模的污染及損傷，還可以實(shí)現(xiàn)快速釋放。

本發(fā)明授權(quán)一種MEMS芯模的制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種MEMS芯模的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： S1.取至少一面具有氧化層的硅片A，將其氧化層側(cè)與晶圓襯底通過熱解膜粘合；采用深反應(yīng)離子刻蝕在硅片A遠(yuǎn)離晶圓襯底側(cè)刻蝕形成所需圖形得硅片B，再將硅片B與晶圓襯底加熱分離； S2.在S1中硅片B的圖形側(cè)沉積金屬膜，并將其金屬膜側(cè)與晶圓襯底通過熱解膜粘合；采用深反應(yīng)離子刻蝕在硅片B遠(yuǎn)離金屬膜側(cè)刻蝕形成所需圖形得硅片C；再將硅片C與晶圓襯底加熱分離，剝離金屬膜、去除氧化層，即得MEMS芯模； 其中，S1和S2中所述熱解膜由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯基膜和涂覆于基膜兩面的亞克力膠層組成。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中山大學(xué)南昌研究院，其通訊地址為：330000 江西省南昌市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)艾溪湖北路269號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。