浙江奧首材料科技有限公司侯軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江奧首材料科技有限公司申請的專利一種半導體晶圓金屬電極保護液、其制備方法與用途獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116875983B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310768833.1，技術領域涉及：C23F11/10；該發明授權一種半導體晶圓金屬電極保護液、其制備方法與用途是由侯軍;任浩楠;呂晶;申海艷;隋新設計研發完成，并于2023-06-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體晶圓金屬電極保護液、其制備方法與用途在說明書摘要公布了：本發明提供一種半導體晶圓金屬電極保護液、其制備方法與用途，所述半導體晶圓金屬電極保護液包括重量配比如下的各組分：聚合物0.1?5份；肟類化合物0.05?1份；pH調節劑0.1?5份；潤濕劑0.1?3份；醇類10?25份；去離子水60?90份。本發明還公開了所述半導體晶圓金屬電極保護液的制備方法及其在半導體晶圓制造清洗領域的用途。本發明半導體晶圓金屬電極保護液具有優異的保護性和穩定性，可在半導體晶圓經過剝離液清洗后直接使用，有效地保護金屬電極，提高半導體器件的性能和可靠性，且清洗后無殘留。
本發明授權一種半導體晶圓金屬電極保護液、其制備方法與用途在權利要求書中公布了：1.一種半導體晶圓金屬電極保護液，其特征在于，包括重量配比如下的各組分： 聚合物0.1-5份； 肟類化合物0.05-1份； pH調節劑0.1-5份； 潤濕劑0.1-3份； 醇類10-25份； 去離子水60-90份； 所述聚合物為均聚氨基酸和或氨基酸PEG交聯聚合物； 所述肟類化合物為丙酮肟、1,2-環已二酮二肟、二甲基乙二醛肟、水楊醛肟、乙醛肟、丁酮肟、乙二肟、丁脒肟、香草肟、糠醛肟和丙醛肟中的一種或幾種； 所述潤濕劑為炔醇類化合物； 所述半導體晶圓金屬電極保護液的pH為6.5-7.5。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江奧首材料科技有限公司，其通訊地址為：324012 浙江省衢州市杜鵑路36號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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