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龍圖騰網(wǎng)獲悉常州市杰洋精密機(jī)械有限公司申請的專利一種硅片制絨清洗機(jī)用恒溫反應(yīng)腐蝕槽獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223284933U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422069680.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該實(shí)用新型一種硅片制絨清洗機(jī)用恒溫反應(yīng)腐蝕槽是由陳文平設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-08-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種硅片制絨清洗機(jī)用恒溫反應(yīng)腐蝕槽在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型提供了一種硅片制絨清洗機(jī)用恒溫反應(yīng)腐蝕槽，包括反應(yīng)槽本體，反應(yīng)槽本體對應(yīng)多孔進(jìn)液板上方支撐設(shè)有緩流板，緩流板內(nèi)具有空腔，空腔一端連接有循環(huán)液進(jìn)口管路、另一端連接有循環(huán)液出口管路，循環(huán)液進(jìn)口管路和循環(huán)液出口管路外接有循環(huán)液外腔，循環(huán)液外腔內(nèi)設(shè)有調(diào)整循環(huán)液溫度的溫控裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，對緩流板進(jìn)行結(jié)構(gòu)改進(jìn)，一方面可進(jìn)一步緩沖制絨液的充入，另一方面在緩流板內(nèi)部設(shè)計(jì)腔室，并利用液體流動循環(huán)在緩流板處對制絨液進(jìn)行熱交換，即在腐蝕槽內(nèi)部進(jìn)行溫度控制，可進(jìn)一步保持反應(yīng)腐蝕的溫度可控性，有效提高了單晶硅片的表面制絨質(zhì)量，并保證產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠優(yōu)異。

本實(shí)用新型一種硅片制絨清洗機(jī)用恒溫反應(yīng)腐蝕槽在權(quán)利要求書中公布了：1.一種硅片制絨清洗機(jī)用恒溫反應(yīng)腐蝕槽，設(shè)置在硅片制絨清洗機(jī)內(nèi)，待加工的單晶硅片放置于花籃2內(nèi)，花籃2攜帶單晶硅片放入反應(yīng)腐蝕槽內(nèi)進(jìn)行浸泡腐蝕操作，其特征在于：包括反應(yīng)槽本體1，所述的反應(yīng)槽本體1底部具有進(jìn)液口8，所述的進(jìn)液口8位置處固定有多孔進(jìn)液板6，所述的反應(yīng)槽本體1對應(yīng)多孔進(jìn)液板6上方支撐設(shè)有緩流板5，所述的緩流板5內(nèi)具有空腔，所述的空腔一端連接有循環(huán)液進(jìn)口管路10、另一端連接有循環(huán)液出口管路9，所述的循環(huán)液進(jìn)口管路10和循環(huán)液出口管路9外接有循環(huán)液外腔，所述的循環(huán)液外腔內(nèi)設(shè)有調(diào)整循環(huán)液溫度的溫控裝置。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人常州市杰洋精密機(jī)械有限公司，其通訊地址為：213000 江蘇省常州市新北區(qū)黃河西路226號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。