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龍圖騰網(wǎng)獲悉大晟芯材料科技(山東)有限公司;濱化集團(tuán)股份有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體用管材潔凈度測(cè)試方法及管材清洗方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119023378B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411351359.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N1/32；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體用管材潔凈度測(cè)試方法及管材清洗方法是由陳國慶;沙蓓蓓;劉騰;冀振偉;張文乾;李釗;種慶;崔海波;韓衛(wèi)忠;劉洪儒設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-09-26向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體用管材潔凈度測(cè)試方法及管材清洗方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的相關(guān)部件領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體用管材潔凈度測(cè)試方法及管材清潔方法。包括：采用超純水對(duì)管材進(jìn)行水洗，去除管材附著的雜質(zhì)；選擇使用分子量小、滲透性極強(qiáng)的電子級(jí)氫氟酸作為酸洗物料，通過酸洗流程對(duì)管材進(jìn)行深層次浸泡清洗，充分清除管材中的金屬離子、陰離子、顆粒等雜質(zhì)，達(dá)到預(yù)定的清洗判定標(biāo)準(zhǔn)后，進(jìn)行潔凈度測(cè)試。測(cè)試流程充裝一定量的電子級(jí)氫氟酸，采取放置、間隔測(cè)試的方法進(jìn)行表征，根據(jù)測(cè)試數(shù)據(jù)，計(jì)算管材雜質(zhì)的析出量，基于以上測(cè)試方法提出一種半導(dǎo)體用氟聚合物管材的清潔方法，實(shí)現(xiàn)了清洗成本和時(shí)間的靈活調(diào)整，滿足高級(jí)別濕化學(xué)品光刻膠的使用要求。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體用管材潔凈度測(cè)試方法及管材清洗方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于半導(dǎo)體用管材潔凈度測(cè)試方法的半導(dǎo)體用管材清洗方法，其特征在于，所述測(cè)試方法包括如下步驟； 1樣品前期處理與清洗； 2浸泡得到測(cè)試液；所述浸泡包括用金屬離子小于3ngkg的49％電子級(jí)氫氟酸對(duì)樣品進(jìn)行浸泡，分別為：放置2小時(shí)得到測(cè)試液1，放置1天得到測(cè)試液2，放置3天得到測(cè)試液3，放置5天得到測(cè)試液4，放置7天得到測(cè)試液5； 3取樣分析及統(tǒng)計(jì)；所述取樣分析使用金屬離子析出小于1ppt的超純凈PFA瓶對(duì)各測(cè)試液進(jìn)行取樣，分析各測(cè)試液中析出的金屬離子、陰離子和顆粒含量； 所述清洗方法包括： 1針對(duì)前述步驟2得到的不同浸泡時(shí)間段的測(cè)試液1-5，利用步驟3所述的方法進(jìn)行取樣分析，并分別針對(duì)得到的各測(cè)試液中的所有金屬離子和陰離子析出量，計(jì)算各種離子的析出速率： 其中，vk是離子在第k浸泡時(shí)間段的析出速率，σk是離子在第k浸泡時(shí)間段的析出量，tk為第k浸泡時(shí)間段的浸泡時(shí)間，其中t1＝2h，t2＝24h，t3＝72h，t4＝120h，t5＝168h； 比較各離子析出速率的變化幅度，將變化幅度最小的陰離子和陽離子定義為基準(zhǔn)陰離子和基準(zhǔn)陽離子；變化幅度采用的計(jì)算方法為計(jì)算 式中，為該離子的平均析出速率，將S2最小的離子作為基準(zhǔn)離子； 2采用不同的水洗次數(shù)、每次水洗時(shí)間，酸洗次數(shù)，每次酸洗時(shí)間對(duì)管材進(jìn)行清洗，并對(duì)清洗后的管材，利用金屬離子小于3ngkg的49％電子級(jí)氫氟酸對(duì)樣品進(jìn)行浸泡3天，并取樣分析基準(zhǔn)陽離子和基準(zhǔn)陰離子的析出量；并建立數(shù)據(jù)集，數(shù)據(jù)的每條數(shù)據(jù)均包括：數(shù)據(jù)ID、水洗次數(shù)、每次水洗時(shí)間、酸洗次數(shù)、每次酸洗時(shí)間、基準(zhǔn)陽離子析出量、基準(zhǔn)陰離子析出量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行回歸分析，得到基準(zhǔn)陽離子和陰離子與清洗參數(shù)的關(guān)系； Yp＝βp0+βp1X1+βp2X2+βp3X3+βp4X4+∈p YN＝βN0+βN1X1+βN2X2+βN3X3+βN4X4+∈pN 其中，Y表示基準(zhǔn)離子析出量，∈為誤差項(xiàng)，X1為水洗次數(shù)，X2為每次水洗時(shí)間，X3為酸洗次數(shù)，X4為每次酸洗時(shí)間，β0為截距項(xiàng)，β1～β4為各參數(shù)的系數(shù)，下標(biāo)p表示基準(zhǔn)陽離子，下標(biāo)N表示基準(zhǔn)陰離子； 3針對(duì)不同使用場(chǎng)景的離子析出量需求，采用水洗+酸洗的方式進(jìn)行清潔，其中清洗參數(shù)包括水洗次數(shù)、每次水洗時(shí)間，酸洗次數(shù)，每次酸洗時(shí)間，根據(jù)上述基準(zhǔn)陽離子和陰離子與清洗參數(shù)的關(guān)系確定清洗參數(shù)。

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