蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司孫靖獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司申請的專利一種硅片滿籃檢測預(yù)選對接裝置及預(yù)選對接方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119297114B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202411382442.7,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/67;該發(fā)明授權(quán)一種硅片滿籃檢測預(yù)選對接裝置及預(yù)選對接方法是由孫靖;王承平;徐偉鋒;熊勇;薛峰設(shè)計研發(fā)完成,并于2024-09-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種硅片滿籃檢測預(yù)選對接裝置及預(yù)選對接方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了一種硅片滿籃檢測預(yù)選對接裝置及預(yù)選對接方法,屬于硅片生產(chǎn)加工領(lǐng)域,檢測預(yù)選對接裝置包括硅片進(jìn)料對接皮帶線、滿籃瑕疵檢測模塊、滿籃瑕疵剔除模塊和對接段花籃轉(zhuǎn)運(yùn)模塊;滿籃瑕疵剔除模塊采用瑕疵籃上層輸出和修復(fù)籃下層流入及升降的“回”字形料籃供給方式;對接段花籃轉(zhuǎn)運(yùn)模塊用于硅片花籃的空間轉(zhuǎn)運(yùn)。預(yù)選對接方法包括硅片冷卻、滿籃上層檢測、滿籃下層檢測、花籃轉(zhuǎn)運(yùn)、NG花籃修復(fù)、修復(fù)籃轉(zhuǎn)運(yùn)。相比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的有益效果在于:本申請的對接裝置,集成了硅片冷卻、光學(xué)檢測、篩選、修復(fù)等功能,保證了硅片質(zhì)量,節(jié)省了后續(xù)分選耗時,便于在硅片加工生產(chǎn)領(lǐng)域推廣應(yīng)用。
本發(fā)明授權(quán)一種硅片滿籃檢測預(yù)選對接裝置及預(yù)選對接方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種硅片滿籃檢測預(yù)選對接裝置,其特征在于:硅片滿籃檢測預(yù)選對接裝置包括硅片進(jìn)料對接皮帶線(100)、滿籃瑕疵檢測模塊(200)、滿籃瑕疵剔除模塊(300)和對接段花籃轉(zhuǎn)運(yùn)模塊(400); 所述滿籃瑕疵檢測模塊(200)和滿籃瑕疵剔除模塊(300)布置在所述硅片進(jìn)料對接皮帶線(100)的流線末端; 所述滿籃瑕疵檢測模塊(200)包括花籃上層檢測組件(210)和花籃下層檢測組件(220),所述花籃上層檢測組件(210)和花籃下層檢測組件(220)均包括設(shè)置在檢測架(201)上的瑕疵檢測相機(jī)單元(202)、檢測光源(203)和檢測外封板(204),其中,多個瑕疵檢測相機(jī)單元(202)并排間隔的布置在檢測架(201)上,所述花籃下層檢測組件(220)的瑕疵檢測相機(jī)單元(202)和檢測光源(203)朝上設(shè)置; 所述滿籃瑕疵剔除模塊(300)采用瑕疵籃上層輸出和修復(fù)籃下層流入及升降的“回”字形料籃供給方式;所述滿籃瑕疵剔除模塊(300)包括布置在滿籃瑕疵剔料架(350)上的滿籃輸出流線(310)、滿籃剔除升降流線(320)、滿籃流入流線(330)和滿籃修復(fù)升降流線(340); 所述對接段花籃轉(zhuǎn)運(yùn)模塊(400)用于硅片花籃的空間轉(zhuǎn)運(yùn)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司,其通訊地址為:215153 江蘇省蘇州市高新區(qū)科技城潯陽江路70號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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