上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司佘榮宇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司申請的專利一種晶舟及立式爐管獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223284947U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422469334.5，技術領域涉及：H01L21/673；該實用新型一種晶舟及立式爐管是由佘榮宇設計研發完成，并于2024-10-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶舟及立式爐管在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種晶舟及立式爐管，所述晶舟包括底座；第一承載組件，設于所述底座，所述第一承載組件沿其軸向間隔的設置有若干第一承載件，所述第一承載件用于承載具有第一深寬比結構的晶圓；第二承載組件活動設于所述底座并靠近所述第一承載組件，所述第二承載組件沿其軸向間隔的設置有第二承載件，所述第二承載件和所述第一承載件配合用于承載另一種具有第二深寬比結構的晶圓；驅動機構，與所述第二承載組件連接，用于驅動所述第二承載組件升降。本實用新型提供的晶舟，由于驅動機構可帶動第二承載組件移動，實現了對第一承載件和第二承載件之間的間距進行調節，從而可一次性處理兩種具有深寬比結構的晶圓，提高設備的利用率和兼容性。
本實用新型一種晶舟及立式爐管在權利要求書中公布了：1.一種晶舟，其特征在于，包括： 底座； 第一承載組件，設于所述底座，所述第一承載組件沿其軸向間隔的設置有若干第一承載件，所述第一承載件用于承載具有第一深寬比結構的晶圓； 第二承載組件，活動設于所述底座并靠近所述第一承載組件，所述第二承載組件沿其軸向間隔的設置有第二承載件，所述第二承載件和所述第一承載件配合用于承載另一種具有第二深寬比結構的承載晶圓； 驅動機構，與所述第二承載組件連接，用于驅動所述第二承載組件升降。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司，其通訊地址為：201807 上海市嘉定區婁陸公路497號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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