買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江斯凱沃微電子有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓清洗拋光裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223277753U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422480192.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B29/02；該實(shí)用新型一種晶圓清洗拋光裝置是由何波;阮旖麗設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-14向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓清洗拋光裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種晶圓清洗拋光裝置，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)上設(shè)有設(shè)有拋光機(jī)構(gòu)及晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)，所述晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)設(shè)置于拋光機(jī)構(gòu)下方，所述晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)包括夾持座，其呈上大下小的錐體狀且上側(cè)形成敞口，所述夾持座的頂部外圍設(shè)置限位座，所述晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)處活動(dòng)連接有清洗機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型在晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)處巧妙增設(shè)清洗機(jī)構(gòu)，既不影響晶圓的有效夾持，又能夠在拋光結(jié)束后直接開始清洗，使用更加靈活且便捷。其次，環(huán)向清洗后的水能夠進(jìn)入夾持座并從其下方流出，且少部分水也會(huì)直接從晶圓與敞口座接攘的內(nèi)邊緣處下滲流出形成出水流道，與進(jìn)水流道形成清洗晶圓的水循環(huán)。

本實(shí)用新型一種晶圓清洗拋光裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗拋光裝置，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)上設(shè)有設(shè)有拋光機(jī)構(gòu)及晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)，所述晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)設(shè)置于拋光機(jī)構(gòu)下方，所述晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)包括夾持座，其呈上大下小的錐體狀且上側(cè)形成敞口，所述夾持座的頂部外圍設(shè)置限位座，其特征在于：所述晶圓限位緊固機(jī)構(gòu)處活動(dòng)連接有清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)包括與限位座適配尺寸的環(huán)形座，環(huán)形座上周向連接有噴頭，所述噴頭的噴射朝向傾斜向下并對(duì)準(zhǔn)晶圓外周，其有下方設(shè)置的水泵供水形成進(jìn)水流道，所述限位座上開設(shè)有通槽，通槽上連通一分管，所述分管的下端連通至中空的夾持座內(nèi)使得清洗后的水得以流出，其余清洗后的水直接從晶圓與敞口座接攘的內(nèi)邊緣處下滲至夾持座下方流出，上述兩者形成出水流道與進(jìn)水流道形成清洗晶圓的水循環(huán)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人浙江斯凱沃微電子有限公司，其通訊地址為：312000 浙江省紹興市柯橋區(qū)齊賢街道工業(yè)區(qū)內(nèi)A幢十六層1601、1603室,C幢一層102室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。