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龍圖騰網獲悉龍門實驗室申請的專利一種單晶硅樣品腐蝕裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120060980B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510525555.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種單晶硅樣品腐蝕裝置是由王新昌;崔彩霞;賈倩琳設計研發完成，并于2025-04-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種單晶硅樣品腐蝕裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體制作技術領域，具體為一種單晶硅樣品腐蝕裝置，包括化學反應機，所述化學反應機的一側設有化學反應槽，所述化學反應槽的上方設有固定件，所述化學反應機上設有用于控制所述固定件升降的控制機構，所述固定件上周向轉動或軸向滑動設有兩根轉桿，兩根所述轉桿的外表面均安裝有多個用于放置晶體的支撐件。本發明的有益效果是：利用兩根轉桿來控制若干個晶體進行往復擺動的同時進行往復滑動，其一，便于準確的放置或取出晶體，其二，大大提高了晶體表面與化學刻蝕劑的接觸面積和頻率，從而既可以讓相鄰的兩個晶體將液體互相壓向對方，加快刻蝕速率，又能夠促使附著在晶體表面的小氣泡自動脫離。

本發明授權一種單晶硅樣品腐蝕裝置在權利要求書中公布了：1.一種單晶硅樣品腐蝕裝置，其特征在于：包括化學反應機，化學反應機的一側設有化學反應槽，化學反應槽的上方設有固定件，化學反應機上設有用于控制固定件升降的控制機構，固定件上周向轉動或軸向滑動設有兩根轉桿，兩根轉桿的外表面均安裝有多個用于放置晶體的支撐件，兩根轉桿外表面的支撐件為交錯設置； 固定件的內部設有驅動組件和引導組件，控制機構控制固定件在化學反應槽內部上下往復移動，驅動組件用于控制兩根轉桿進行對向旋轉，兩根轉桿對向旋轉，引導組件用于控制兩根轉桿進行相對的往復滑動； 驅動組件包括滑動設置在固定件內部的齒條，齒條具有雙面嚙齒，兩根轉桿對應齒條的位置均固定設有齒輪，兩個齒輪均與齒條相嚙合；齒條的頂端與固定件內部的頂面之間通過彈性件配合連接； 引導組件包括固定桿，固定件對應兩個齒輪的位置均固定設有所述固定桿，固定桿靠近齒輪的一端轉動設有滾動件，滾動件為滾珠，齒輪對應滾動件的位置開設有引導槽，引導槽的開口處固定安裝有槽蓋；引導槽和槽蓋的形狀均為弧形，引導槽朝向槽蓋的一面為斜面，槽蓋朝向引導槽的一面為斜面，槽蓋的斜面與引導槽的斜面相反，兩個齒輪的引導槽的斜面為相反設置，滾動件位于固定桿的一側開設有轉動孔，固定桿通過軸承與轉動孔配合連接，兩個齒輪進行對向旋轉，利用滾動件在引導槽和槽蓋之間的位置變化，使得兩根轉桿帶動若干支撐件進行往復軸向滑動，且由于兩個齒輪的引導槽的斜面為相反設置，讓相鄰的兩個晶體將液體互相壓向對方。

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