香港科技大學(xué)(廣州)徐巍獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉香港科技大學(xué)(廣州)申請的專利一種花籃架、藥液槽組件及半導(dǎo)體清洗裝置獲國家實用新型專利權(quán),本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN223284948U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉:該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202521538779.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/673;該實用新型一種花籃架、藥液槽組件及半導(dǎo)體清洗裝置是由徐巍;李藝杰設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-07-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種花籃架、藥液槽組件及半導(dǎo)體清洗裝置在說明書摘要公布了:本申請公開了一種花籃架、藥液槽組件及半導(dǎo)體清洗裝置,涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,其中花籃架包括花籃架本體以及第一鎖件;花籃架本體中設(shè)有兩個對稱設(shè)置的滑槽;兩個滑槽之間形成供待清洗的工件活動插入的置放腔;兩個滑槽的一端延伸出花籃架,且之間形成供工件插入的插入口;至少一個滑槽的另一端設(shè)有止擋結(jié)構(gòu),能夠與工件接觸相抵;第一鎖件活動安裝于插入口周圍,且能夠在解鎖位置與鎖定位置之間切換運動;在第一鎖件處于鎖定位置時,其上的部分結(jié)構(gòu)能夠伸入插入口以止擋工件從插入口脫離。該花籃架能夠使得待清洗的工件的取放更加便利,提高清洗效率和用戶體驗。
本實用新型一種花籃架、藥液槽組件及半導(dǎo)體清洗裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種花籃架,其特征在于,包括花籃架本體(1)以及第一鎖件(2); 所述花籃架本體(1)中設(shè)有兩個對稱設(shè)置的滑槽(111); 兩個所述滑槽(111)之間形成供待清洗的工件活動插入的置放腔(113); 兩個所述滑槽(111)的一端延伸出所述花籃架,且之間形成供所述工件插入的插入口(112); 至少一個所述滑槽(111)的另一端設(shè)有止擋結(jié)構(gòu)(114),能夠與所述工件接觸相抵; 所述第一鎖件(2)活動安裝于所述插入口(112)周圍,且能夠在解鎖位置與鎖定位置之間切換運動; 在所述第一鎖件(2)處于所述鎖定位置時,其上的部分結(jié)構(gòu)能夠伸入所述插入口(112)以止擋所述工件從所述插入口(112)脫離。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人香港科技大學(xué)(廣州),其通訊地址為:511453 廣東省廣州市南沙區(qū)篤學(xué)路1號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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