中國(guó)空氣動(dòng)力研究與發(fā)展中心超高速空氣動(dòng)力研究所;電子科技大學(xué)楊凱獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)空氣動(dòng)力研究與發(fā)展中心超高速空氣動(dòng)力研究所;電子科技大學(xué)申請(qǐng)的專利一種以塊狀金屬為敏感元件基底的新型原子層熱電堆熱流傳感器及其封裝工藝獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN111710777B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202010718395.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10N10/17;該發(fā)明授權(quán)一種以塊狀金屬為敏感元件基底的新型原子層熱電堆熱流傳感器及其封裝工藝是由楊凱;朱濤;陶伯萬(wàn);朱新新;王輝;楊慶濤;楊遠(yuǎn)劍設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-07-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種以塊狀金屬為敏感元件基底的新型原子層熱電堆熱流傳感器及其封裝工藝在說(shuō)明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種以塊狀金屬為敏感元件基底的新型原子層熱電堆熱流傳感器及其封裝工藝,包括:封裝套,其內(nèi)部設(shè)有塊狀金屬基底;塊狀金屬基底上方沉積有過渡膜層和熱電效應(yīng)薄膜,熱電效應(yīng)薄膜兩端分別與引線金膜相接;導(dǎo)線槽內(nèi)固定設(shè)置有銀導(dǎo)線,且引線金膜與銀導(dǎo)線電導(dǎo)通。本發(fā)明的原子層熱電堆熱流傳感器利用了金屬良好的導(dǎo)熱特性以及較高的熱容量,使得傳感器在長(zhǎng)時(shí)間使用中能及時(shí)將熱傳導(dǎo)出去,保證傳感器溫度在受控范圍內(nèi);利用金屬較好的可再加工的特性,使得引線金膜與銀導(dǎo)線的電導(dǎo)通結(jié)點(diǎn)布置在塊狀金屬基底側(cè)面,傳感器感應(yīng)面平整,減少由于侵入式傳感器對(duì)局部流場(chǎng)的影響;傳感器敏感元件整體上更緊湊,減小機(jī)械加工所需要的尺寸冗余度。
本發(fā)明授權(quán)一種以塊狀金屬為敏感元件基底的新型原子層熱電堆熱流傳感器及其封裝工藝在權(quán)利要求書中公布了:1.一種以塊狀金屬為敏感元件基底的新型原子層熱電堆熱流傳感器,其特征在于,包括: 封裝套,其內(nèi)部固定套設(shè)有塊狀金屬基底; 所述塊狀金屬基底上方沉積有過渡膜層和引線金膜,過渡膜層上方沉積有熱電效應(yīng)薄膜,熱電效應(yīng)薄膜兩端分別與所述引線金膜相接; 導(dǎo)線槽,其設(shè)置在所述塊狀金屬基底的側(cè)面,導(dǎo)線槽內(nèi)固定設(shè)置有銀導(dǎo)線,且所述引線金膜過渡至塊狀金屬基底側(cè)面與銀導(dǎo)線電導(dǎo)通; 所述塊狀金屬基底的材料為鎳基合金鋼、鎳、鎳鎢合金、銅、銀中的一種; 新型原子層熱電堆熱流傳感器的封裝工藝包括以下步驟: 步驟一、對(duì)塊狀金屬基底沉積過渡膜層的區(qū)域和沉積引線金膜的區(qū)域做表面光潔處理,然后在塊狀金屬基底上沉積過渡膜層;在塊狀金屬基底與引線金膜以及塊狀金屬基底與銀導(dǎo)線的接觸面區(qū)域做表面處理以形成電絕緣表面;在過渡膜層表面沉積熱電效應(yīng)薄膜,在熱電效應(yīng)薄膜兩端沉積引線金膜;在塊狀金屬基底上加工過渡圓角; 步驟二、在塊狀金屬基底的導(dǎo)線槽內(nèi)灌注高溫膠,通過高溫膠固化將銀導(dǎo)線固定在塊狀金屬基底上; 步驟三、在銀導(dǎo)線與引線金膜之間刷高溫銀漿,以實(shí)現(xiàn)銀導(dǎo)線與引線金膜之間的電導(dǎo)通; 步驟四、將塊狀金屬基底裝入封裝套中,并保證封裝套的通孔對(duì)準(zhǔn)塊狀金屬基底的定位螺紋孔,在通孔和定位螺紋孔中裝入頂絲,實(shí)現(xiàn)封裝套與塊狀金屬基底之間的定位和固定。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人中國(guó)空氣動(dòng)力研究與發(fā)展中心超高速空氣動(dòng)力研究所;電子科技大學(xué),其通訊地址為:621000 四川省綿陽(yáng)市涪城區(qū)二環(huán)路南段6號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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