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龍圖騰網獲悉科磊股份有限公司申請的專利用于掃描電子顯微鏡應用的傳感器模塊獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114365257B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080060224.5，技術領域涉及：H01J37/244；該發明授權用于掃描電子顯微鏡應用的傳感器模塊是由M·特倫頗設計研發完成，并于2020-08-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于掃描電子顯微鏡應用的傳感器模塊在說明書摘要公布了：公開一種掃描電子顯微鏡SEM系統。所述SEM系統包含經配置以產生電子射束的電子源及經配置以跨樣本掃描所述電子射束且將通過所述樣本散射的電子聚焦到一或多個成像平面上的一組電子光學器件。所述SEM系統包含定位于所述一或多個成像平面處的第一檢測器模塊，其中所述第一檢測器模塊包含經配置以將來自所述樣本的例如電子及或x射線的散射粒子轉換成一組等效信號電荷的多像素固態傳感器。所述多像素固態傳感器連接到經配置以處理來自所述傳感器的一或多個像素的所述組信號電荷的兩個或更多個專用集成電路ASIC。

本發明授權用于掃描電子顯微鏡應用的傳感器模塊在權利要求書中公布了：1.一種掃描電子顯微鏡系統，其包括： 電子源，其經配置以產生電子射束； 一組電子光學器件，其經配置以跨樣本掃描所述電子射束且將通過所述樣本而散射的電子聚焦到一或多個成像平面上；及 第一檢測器模塊，其定位于所述一或多個成像平面處， 其中所述第一檢測器模塊包含經配置以將來自所述樣本的散射粒子轉換成一組等效信號電荷的多像素固態傳感器， 其中所述多像素固態傳感器連接到經配置以處理來自所述傳感器的一或多個像素的所述一組等效信號電荷的兩個或更多個專用集成電路ASIC，其中每一個ASIC均包含多個集群，其中每一集群均包含至少四個像素，且其中各個ASIC經配置以： 檢測由相應集群在第一時間間隔中收集的電荷，其中所述第一時間間隔與掃描時鐘同步以產生對應于由所述相應集群在所述第一時間間隔中收集的所述電荷的第一電信號，并將所述第一電信號轉換成第一數字信號；以及 檢測由所述相應集群在第二時間間隔中收集的電荷，其中所述第二時間間隔與所述掃描時鐘同步以產生對應于在所述第二時間間隔中收集的所述電荷的第二電信號且將所述第二電信號轉換成第二數字信號，其中在完成轉換所述第一電信號之前開始轉換所述第二電信號。

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