東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社濱康孝獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利基板處理方法和基板處理系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113192832B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110089464.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/3065；該發(fā)明授權(quán)基板處理方法和基板處理系統(tǒng)是由濱康孝;新藤信明;米田滋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本基板處理方法和基板處理系統(tǒng)在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種基板處理方法和基板處理系統(tǒng)，能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)離子體處理后的基板進(jìn)行除電處理。該基板處理方法用于對(duì)基板進(jìn)行處理，包括以下工序：工序a，將所述基板載置在靜電吸盤上，并對(duì)所述靜電吸盤施加直流電壓，由此使所述基板吸附于所述靜電吸盤；工序b，對(duì)電極供給高頻電力，并利用非活性氣體來(lái)生成等離子體；工序c，停止對(duì)所述靜電吸盤施加所述直流電壓；以及工序d，使被供給到所述電極的所述高頻電力逐漸降低，并使該高頻電力為0W。
本發(fā)明授權(quán)基板處理方法和基板處理系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，用于對(duì)基板進(jìn)行處理，所述基板處理方法包括以下工序： 工序a，將所述基板載置在靜電吸盤上，并對(duì)所述靜電吸盤施加直流電壓，由此使所述基板吸附于所述靜電吸盤； 工序b，對(duì)電極供給高頻電力，并利用非活性氣體來(lái)生成等離子體； 工序c，停止對(duì)所述靜電吸盤施加所述直流電壓； 工序d，使被供給到所述電極的所述高頻電力逐漸降低，并使該高頻電力為0W， 在所述工序c與所述工序d之間還包括工序e，在該工序e中，使所述基板上升來(lái)使所述基板離開所述靜電吸盤。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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