北京北方華創微電子裝備有限公司孫妍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利半導體熱處理設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114156210B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111416347.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權半導體熱處理設備是由孫妍;劉科學;吳艷華;位思夢;李元志;郭信鴿設計研發完成，并于2021-11-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體熱處理設備在說明書摘要公布了：本發明公開一種半導體熱處理設備，涉及半導體制造技術領域。該半導體熱處理設備，包括爐體、供氣管匯、進氣管和混合腔，混合腔圍繞爐體。供氣管匯與混合腔連通，且供氣管匯用于向混合腔內注入工藝氣體。進氣管用于連接爐體和混合腔，且混合腔內的工藝氣體可通過進氣管由混合腔進入爐體內。該方案能解決晶圓表面薄膜均勻性差的問題。
本發明授權半導體熱處理設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體熱處理設備，其特征在于，包括爐體100、供氣管匯200、進氣管300和混合腔400，所述混合腔400圍繞所述爐體100設置； 所述供氣管匯200與所述混合腔400連通，且所述供氣管匯200用于向所述混合腔400內注入工藝氣體； 所述進氣管300用于連接所述爐體100和所述混合腔400，且所述混合腔400內的工藝氣體可通過所述進氣管300由所述混合腔400進入所述爐體100內。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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