TES股份有限公司黃玄想獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉TES股份有限公司申請的專利基板處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114649185B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111562613.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置是由黃玄想;孫洪儁設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-12-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供基板處理裝置，更具體地涉及一種能夠在使用等離子體的基板處理裝置抑制在傳輸高頻功率的同軸電纜發(fā)生的發(fā)熱現(xiàn)象的基板處理裝置。
本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其特征在于， 包括： 第一電極，設(shè)置在腔體內(nèi)部； 第二電極，與所述第一電極相對，設(shè)置在所述腔體內(nèi)部；及 高頻供應(yīng)部，與所述第二電極連接， 所述高頻供應(yīng)部包括： 射頻發(fā)生器，向所述第二電極供應(yīng)高頻功率； 匹配器，在所述第二電極和所述射頻發(fā)生器之間連接而匹配所述高頻功率的阻抗； 同軸電纜，配置在所述匹配器和所述腔體之間而向所述第二電極傳送高頻功率； 阻抗轉(zhuǎn)換器，改變所述同軸電纜的阻抗，其中所述阻抗轉(zhuǎn)換器在所述同軸電纜和所述腔體之間連接，所述阻抗轉(zhuǎn)換器在從所述射頻發(fā)生器觀察時配置在所述同軸電纜的后端。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人TES股份有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道龍仁市處仁區(qū)陽智面中部大路2374-36；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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