買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利頂針裝置及其校準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114334782B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111659054.5，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權頂針裝置及其校準方法是由常蕊;王家祥設計研發完成，并于2021-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本頂針裝置及其校準方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種頂針裝置及其校準方法，上述頂針裝置包括至少三個頂針組件、檢測單元、控制單元和多個驅動單元。其中，多個驅動單元用于一一對應地驅動各個頂針組件升降；檢測單元用于檢測每個頂針組件頂端的高度；控制單元用于在校準過程中，控制驅動單元驅動頂針組件由初始位置上升至取放片位置；根據檢測單元檢測到的每個頂針組件頂端的實際高度，計算每個頂針組件頂端的實際高度與預設高度的差值，并判斷所有的頂針組件對應的差值中是否有差值不為零；若是，則根據不為零的差值，控制與該差值對應的驅動單元驅動頂針組件升降，以使該頂針組件的頂端在位于取放片位置時的高度與預設高度的差值為零，從而使所有頂針組件均能夠達到預設高度。

本發明授權頂針裝置及其校準方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體工藝設備中的頂針裝置，其特征在于，包括至少三個頂針組件、檢測單元、控制單元和多個驅動單元；其中， 所述驅動單元的數量與所述頂針組件數量相同，且各個所述驅動單元用于一一對應地驅動各個所述頂針組件升降； 所述檢測單元用于檢測每個所述頂針組件頂端的高度； 所述控制單元用于在校準過程中，控制所述驅動單元驅動所述頂針組件由初始位置上升至取放片位置；根據所述檢測單元檢測到的每個所述頂針組件頂端的實際高度，計算每個所述頂針組件頂端的所述實際高度與預設高度的差值，并判斷所有的所述頂針組件對應的所述差值中是否有差值不為零；若是，則根據不為零的所述差值，控制與該差值對應的所述驅動單元驅動所述頂針組件升降，以使該頂針組件的頂端在位于所述取放片位置時的高度與所述預設高度的差值為零； 所述控制單元還用于：在所有的所述頂針組件對應的所述差值中有差值不為零時，控制所有的所述驅動單元驅動所有的所述頂針組件下降至各自的所述初始位置； 根據不為零的所述差值，控制與該差值對應的所述驅動單元驅動所述頂針組件升降，以將該頂針組件從原來的初始位置調節至新的初始位置； 控制所有的所述驅動單元驅動所有的所述頂針組件，自各自當前的所述初始位置以相同的速度上升至所述取放片位置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。