江西兆馳半導體有限公司范紳鉞獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!
龍圖騰網獲悉江西兆馳半導體有限公司申請的專利一種圖形化襯底、圖形化襯底的制備方法及LED芯片獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114823994B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210284675.8,技術領域涉及:H10H20/01;該發明授權一種圖形化襯底、圖形化襯底的制備方法及LED芯片是由范紳鉞;田曉強;梁毅;李孟軒;文國昇設計研發完成,并于2022-03-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種圖形化襯底、圖形化襯底的制備方法及LED芯片在說明書摘要公布了:本發明提供一種圖形化襯底、圖形化襯底的制備方法及LED芯片,制備方法包括提供一藍寶石襯底,并在藍寶石襯底上沉積一層黃光涂膠,同時,制備掩膜版,將掩膜版上的圖形轉移到黃光涂膠上,得到第一圖形化藍寶石襯底,對第一圖形化藍寶石襯底進行蝕刻,并清潔,得到第二圖形化藍寶石襯底,在第二圖形化藍寶石襯底上制備光阻層,并將第二圖形化藍寶石襯底外圈的光阻層進行去除,得到第三圖形化藍寶石襯底,將第三圖形化藍寶石襯底進行蝕刻,并清潔,得到第四圖形化藍寶石襯底。本發明提供一種圖形化襯底、圖形化襯底的制備方法及LED芯片,旨在解決現有技術中,圖形化藍寶石襯底內外圈形貌不均勻,最終導致外延長晶外圈良率低的問題。
本發明授權一種圖形化襯底、圖形化襯底的制備方法及LED芯片在權利要求書中公布了:1.一種圖形化襯底的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括: 提供一藍寶石襯底,并在所述藍寶石襯底上沉積一層黃光涂膠,同時,制備掩膜版; 將所述掩膜版上的圖形轉移到所述黃光涂膠上,得到第一圖形化藍寶石襯底; 對所述第一圖形化藍寶石襯底進行蝕刻,并清潔,得到第二圖形化藍寶石襯底; 在所述第二圖形化藍寶石襯底上制備光阻層,并將所述第二圖形化藍寶石襯底外圈的所述光阻層進行去除,得到第三圖形化藍寶石襯底; 將所述第三圖形化藍寶石襯底進行蝕刻,并清潔,得到第四圖形化藍寶石襯底; 最終制備得到的圖形化襯底包括藍寶石基板和所述藍寶石基板向外延伸出的外延長晶層,所述外延長晶層包括掩膜部和位于所述掩膜部外側的非掩膜部,所述掩膜部的高度高于所述非掩膜部的高度,所述掩膜部的寬度大于所述非掩膜部的寬度,且非掩膜部越靠近掩膜部,其高度越高,寬度越寬。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人江西兆馳半導體有限公司,其通訊地址為:330000 江西省南昌市南昌高新技術產業開發區天祥北大道1717號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。