杰宜斯科技有限公司樸芝鎬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉杰宜斯科技有限公司申請的專利基板處理裝置及其控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115132618B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210315549.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板處理裝置及其控制方法是由樸芝鎬;孔云;文雄助;樸基薰設計研發完成，并于2022-03-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理裝置及其控制方法在說明書摘要公布了：本發明公開基板處理裝置及基板處理裝置的控制方法。所公開的基板處理裝置包括：真空卡盤部，用于吸附支撐晶圓組裝體，該晶圓組裝體包括晶圓；旋轉卡盤部，用于使真空卡盤部旋轉；旋轉軸，與旋轉卡盤部連接以使旋轉卡盤部旋轉；環形蓋部，對晶圓組裝體施加壓力，防止噴射到晶圓的處理液向真空卡盤部擴散；密封圈部，設置在真空卡盤部，用于支撐晶圓組裝體；以及媒介供給部，用于向真空卡盤部供給檢查媒介，以使用于確認密封圈部的破損的檢查媒介流入到密封圈部的內部。
本發明授權基板處理裝置及其控制方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括： 真空卡盤部，用于吸附支撐晶圓組裝體，所述晶圓組裝體包括晶圓； 旋轉卡盤部，用于使所述真空卡盤部旋轉； 旋轉軸，與所述旋轉卡盤部連接以使所述旋轉卡盤部旋轉； 環形蓋部，對所述晶圓組裝體施加壓力，防止噴射到所述晶圓的處理液向所述真空卡盤部擴散； 密封圈部，設置在所述真空卡盤部，用于支撐所述晶圓組裝體；以及 媒介供給部，與所述真空卡盤部連接，用于向所述真空卡盤部供給檢查媒介，以使所述檢查媒介流入到所述密封圈部的內部，所述檢查媒介用于確認所述密封圈部的破損。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杰宜斯科技有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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