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龍圖騰網(wǎng)獲悉南京理工大學(xué)申請(qǐng)的專利基于MEMS工藝的光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114890377B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210437303.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81C1/00；該發(fā)明授權(quán)基于MEMS工藝的光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元制備方法是由吳立志;袁浩方;支天金;謝天宇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-04-21向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基于MEMS工藝的光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元制備方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種基于MEMS工藝的光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元制備方法，包括如下步驟：首先將光纖端面預(yù)處理，包括拋光、清洗、烘干；再將光纖放入設(shè)計(jì)好的模具中，對(duì)光纖端面依次經(jīng)過(guò)一次光刻涂膠、曝光、顯影，磁控濺射、去膠，制備出燒蝕層和隔熱層；然后在一次光刻的薄膜上依次經(jīng)過(guò)二次光刻、磁控濺射、去膠，制備出飛片層，獲得光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元。利用MEMS工藝制備的臺(tái)階型激光飛片換能元優(yōu)勢(shì)是將飛片薄膜直接鍍?cè)诠饫w端面，重復(fù)性好，成本低，且由于減少光纖輸出端激光的發(fā)散，提高了光纖末端換能元的能量耦合效率。由于換能元臺(tái)階型，有效降低等離子體因飛片剪切造成的能量浪費(fèi)，有利于降低光纖式激光飛片換能元的沖擊起爆閾值。

本發(fā)明授權(quán)基于MEMS工藝的光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于MEMS工藝的光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元制備方法，其特征在于，該方法包括如下步驟： 首先將光纖端面預(yù)處理：拋光、清洗、烘干； 再將光纖放入模具中，對(duì)光纖端面依次經(jīng)過(guò)一次光刻：涂膠、曝光、顯影， 進(jìn)行磁控濺射、去膠，制備出燒蝕層和隔熱層； 在一次光刻的薄膜上依次經(jīng)過(guò)二次光刻、磁控濺射、去膠，制備出飛片層，獲得光纖式臺(tái)階型激光飛片換能元； 短石英光纖作為鍍膜基底；結(jié)構(gòu)為燒蝕層-隔熱層-沖擊層，其中，燒蝕層為Al，隔熱層為Al2O3，飛片層為Al；形狀為臺(tái)階型，其中飛片層直徑小于燒蝕層和隔熱層直徑，并與加速膛直徑匹配；光纖的芯徑為0.8mm與1.0mm。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人南京理工大學(xué)，其通訊地址為：210094 江蘇省南京市孝陵衛(wèi)街200號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。