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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115020179B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210609466.6，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權半導體工藝設備是由楊帥;謝遠祥;張波設計研發完成，并于2022-05-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種半導體工藝設備，涉及半導體裝備領域。一種半導體工藝設備：包括工藝管、多個進氣管和多組電極組件，工藝管內形成有工藝腔和多個緩沖腔，多個進氣管對應延伸至多個緩沖腔中，工藝管側壁設有與工藝腔連通的排氣口，每個緩沖腔至少與一組電極組件對應設置，且電極組件延伸至緩沖腔內，并與射頻電源連接；電極組件包括可變形的電極芯、多個電極管和電極網，多個電極管沿電極芯的延伸方向依次設置，且相鄰兩個電極管之間具有預設間隙，電極芯穿設于多個電極管內，并與多個電極管分別連接；電極網沿電極芯的延伸方向設置，并套設于多個電極管的外側。本申請能夠解決電極成本高、使用壽命短等問題。

本發明授權半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體工藝設備，其特征在于，包括：工藝管（200）、多個進氣管（600）和多組電極組件（100）； 所述工藝管（200）的內部形成有工藝腔（210）和多個緩沖腔（220），多個所述緩沖腔（220）沿所述工藝管（200）的周向分布，且均與所述工藝腔（210）連通，多個所述進氣管（600）穿過所述工藝管（200）的側壁一一對應地延伸至多個所述緩沖腔（220）中，用于向對應的所述緩沖腔（220）內通入工藝氣體，所述工藝管（200）的側壁設有排氣口（230），所述排氣口（230）與所述工藝腔（210）連通，用于將工藝腔（210）內的氣體排出，每個所述緩沖腔（220）至少與一組所述電極組件（100）對應設置，每一組所述電極組件（100）包括兩個所述電極組件（100），兩個所述電極組件（100）各自的一端分別穿過所述工藝腔（210）的側壁延伸至相應的所述緩沖腔（220）內，兩個所述電極組件（100）各自的另一端分別用于與射頻電源的正負極連接，其中， 所述電極組件（100）包括可變形的電極芯（110）、多個電極管（120）以及電極網（130），多個所述電極管（120）沿所述電極芯（110）的延伸方向依次設置，且相鄰兩個所述電極管（120）之間具有預設間隙，所述電極芯（110）穿設于多個所述電極管（120）內，并與多個所述電極管（120）分別連接；所述電極網（130）沿所述電極芯（110）的延伸方向設置，并套設于多個所述電極管（120）的外側。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。