之江實(shí)驗(yàn)室;浙江大學(xué)陳智獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉之江實(shí)驗(yàn)室;浙江大學(xué)申請(qǐng)的專利光學(xué)各向同性晶體的濕法輔助-飛秒激光加工納米孔方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115747969B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202211399789.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C30B33/00;該發(fā)明授權(quán)光學(xué)各向同性晶體的濕法輔助-飛秒激光加工納米孔方法是由陳智;鐘理京;王宇瑩;楊弈;許貝貝;劉小峰;譚德志;馬志軍;邱建榮設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-11-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本光學(xué)各向同性晶體的濕法輔助-飛秒激光加工納米孔方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)各向同性晶體的濕法輔助?飛秒激光加工納米孔方法。在目標(biāo)加工物的光學(xué)各向同性晶體上通過(guò)光學(xué)接觸放置一塊更厚光學(xué)各向同性晶體作為球差增強(qiáng)輔助物,飛秒激光透射經(jīng)過(guò)球差增強(qiáng)輔助物后入射并聚焦到目標(biāo)加工物內(nèi)產(chǎn)生自聚焦拉絲效應(yīng),而誘導(dǎo)材料局域改性成納米拉絲誘導(dǎo)區(qū)域;再用特定酸性溶液濕法刻蝕,使納米拉絲誘導(dǎo)區(qū)域被刻蝕形成孔徑可控、高深?徑比的納米孔。本發(fā)明可對(duì)任意光學(xué)各向同性晶體內(nèi)部三維空間進(jìn)行誘導(dǎo)加工,還可調(diào)節(jié)制備高深?徑比的納米孔結(jié)構(gòu),克服了傳統(tǒng)方法只能在材料表面加工低深?徑比的納米孔結(jié)構(gòu)缺點(diǎn),制備更小尺寸、均一、可控的納米孔結(jié)構(gòu),具有高效、穩(wěn)定、低廉的三維空間可控的納米加工特點(diǎn)。
本發(fā)明授權(quán)光學(xué)各向同性晶體的濕法輔助-飛秒激光加工納米孔方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種光學(xué)各向同性晶體的濕法輔助-飛秒激光加工納米孔方法,其特征在于,方法針對(duì)所需加工的一塊光學(xué)各向同性晶體作為目標(biāo)加工物,具體包括以下過(guò)程: 首先在目標(biāo)加工物的一側(cè)上光學(xué)接觸放置比目標(biāo)加工物厚度更厚的另一塊光學(xué)各向同性晶體作為球差增強(qiáng)輔助物,施加從球差增強(qiáng)輔助物到目標(biāo)加工物方向的飛秒激光透射經(jīng)過(guò)球差增強(qiáng)輔助物后入射并聚焦到目標(biāo)加工物的內(nèi)部,進(jìn)而在目標(biāo)加工物的光學(xué)各向同性晶體內(nèi)部自聚焦拉絲誘導(dǎo)材料局域改性而形成納米拉絲誘導(dǎo)區(qū)域,所述飛秒激光采用不同曝光脈沖個(gè)數(shù); 然后將目標(biāo)加工物采用酸性溶液濕法刻蝕,使得納米拉絲誘導(dǎo)區(qū)域被刻蝕形成孔徑可控、高深-徑比的納米孔。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人之江實(shí)驗(yàn)室;浙江大學(xué),其通訊地址為:311121 浙江省杭州市余杭區(qū)之江實(shí)驗(yàn)室南湖總部;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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