重慶大學韋瑋獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉重慶大學申請的專利基于可調諧表面等離激元的增強探測一體化紅外光譜芯片獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117606619B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311637137.3,技術領域涉及:G01J3/28;該發明授權基于可調諧表面等離激元的增強探測一體化紅外光譜芯片是由韋瑋;蘭桂蓮;駱鵬;張曉健;楊利平;郭安然設計研發完成,并于2023-12-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于可調諧表面等離激元的增強探測一體化紅外光譜芯片在說明書摘要公布了:一種基于可調諧表面等離激元的增強探測一體化紅外光譜芯片,自上而下依次為源極及漏級、石墨烯氮化硼異質結、納米間隙層、介質超表面、電介質層、紅外探測器、襯底。其中,介質超表面與石墨烯氮化硼異質結之間具有納米間隙層,介質超表面作為柵極,石墨烯氮化硼異質結表面蒸鍍源極及漏級,形成可調諧表面等離激元波導諧振器。紅外探測器通過電介質層與可調諧表面等離激元波導諧振器縱向集成,用于紅外光譜信號探測。在紅外光波照射下,激發低損耗的表面等離激元模式,通過外電場調控諧振峰實現寬波段波長掃描,按時間序列依次獲得紅外光譜信號,通過處理可獲得分子的紅外光譜吸收信號,最終實現“光譜增強”與“光譜探測”一體化紅外光譜芯片。本發明具有靈敏度高,探測物質種類范圍廣,體積小,集成度高等優點。
本發明授權基于可調諧表面等離激元的增強探測一體化紅外光譜芯片在權利要求書中公布了:1.一種基于可調諧表面等離激元的增強探測一體化紅外光譜芯片,其特征在于:包括自上而下的源極及漏級、石墨烯氮化硼異質結、納米間隙層、介質超表面、電介質層、紅外探測器和襯底; 所述介質超表面,是通過在電介質層表面沉積硅層,進一步對硅層進行微納加工形成超表面的結構輪廓,獲得介質超表面結構,用于實現表面等離激元模式與自由空間光的波矢匹配; 所述石墨烯氮化硼異質結,是氮化硼薄膜與石墨烯薄膜復合結構,用于降低基底對石墨烯材料特性的影響,以獲得低損耗表面等離激元模式; 所述介質超表面和所述石墨烯氮化硼異質結之間具有納米間隙層,形成可調諧表面等離激元波導諧振器,在紅外光波激發下產生可調諧表面等離激元,從而在石墨烯表面產生強局域電場,進一步通過在石墨烯和介質超表面之間施加的外部電壓,對石墨烯的表面電導率進行調節,從而對表面等離激元諧振峰進行動態調節,實現窄帶濾波;同時,當表面等離激元諧振頻率調諧到與待檢測物質的分子振動頻率一致時,增強待測分子的紅外光譜信號; 所述源極和漏極,沉積在石墨烯氮化硼異質結上,源極和漏極通過石墨烯導通; 所述電介質層,位于所述紅外探測器裸片和所述介質超表面之間,用于保護紅外探測器裸片表面; 所述紅外探測器裸片位于襯底之上,通過電介質層與可調諧表面等離激元波導諧振器縱向集成,用于紅外光譜信號探測。
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