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          沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司夏文通獲國(guó)家專利權(quán)

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          龍圖騰網(wǎng)獲悉沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司申請(qǐng)的專利一種晶舟盒搬運(yùn)小車的自動(dòng)鎖止機(jī)構(gòu)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN118737920B

          龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202410661124.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/677;該發(fā)明授權(quán)一種晶舟盒搬運(yùn)小車的自動(dòng)鎖止機(jī)構(gòu)是由夏文通;趙闖;王楊設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-05-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

          一種晶舟盒搬運(yùn)小車的自動(dòng)鎖止機(jī)構(gòu)在說(shuō)明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種晶舟盒搬運(yùn)小車的自動(dòng)鎖止機(jī)構(gòu),銷導(dǎo)向板通過(guò)導(dǎo)向板安裝柱定位和安裝在中間板上,其作用是接觸定位銷并導(dǎo)正晶舟盒搬運(yùn)小車,實(shí)現(xiàn)晶舟盒搬運(yùn)小車左右方向的定位。鎖止塊通過(guò)鉸鏈銷安裝在鎖止座上,并與拉桿相連,拉桿在腳踏連桿的拖動(dòng)下可繞鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng),形成一個(gè)雙搖桿連桿機(jī)構(gòu),人工可以在連接在腳踏連桿上的腳踏桿施加向下的力實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng),最終在鎖止塊彈簧和拉簧拉力的作用下復(fù)位。本發(fā)明通過(guò)人工推動(dòng)小車,自動(dòng)鎖止機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)導(dǎo)向槽口、彈簧和鎖止塊的多方向限位,實(shí)現(xiàn)與SEMIE83標(biāo)準(zhǔn)接口的準(zhǔn)確定位和自動(dòng)鎖止,還可方便解鎖,從而實(shí)現(xiàn)小車與晶圓裝載結(jié)構(gòu)的相對(duì)位置確定。

          本發(fā)明授權(quán)一種晶舟盒搬運(yùn)小車的自動(dòng)鎖止機(jī)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種晶舟盒搬運(yùn)小車的自動(dòng)鎖止機(jī)構(gòu),其特征在于:包括安裝板(1)、立板(2)、中間板(3)、腳踏桿(4)、拉桿(5)、鎖止座(6)、鎖止塊(7)、銷導(dǎo)向板(8)、頂軸(9)、尼龍墊(10)、尼龍撞塊(11)、連接桿(12)、支撐軸(13)、停止塊(14)、腳踏連桿(15)、鎖止塊彈簧(16)、直線軸承(17)、頂軸彈簧(18)、彈簧支柱(19)、拉簧(20)、導(dǎo)向板安裝柱(21)、等高螺栓(22)、調(diào)整螺栓(23)、鉸鏈桿(24)和鉸鏈銷(25); 所述中間板(3)設(shè)有多個(gè)銷孔和安裝孔; 所述銷導(dǎo)向板(8)通過(guò)導(dǎo)向板安裝柱(21)從中間板(3)下端面的銷孔穿過(guò)從而定位和安裝; 所述中間板(3)上端通過(guò)設(shè)置兩立板(2)連接安裝板(1),安裝板(1)通過(guò)螺栓安裝在搬運(yùn)小車框架底部; 所述腳踏連桿(15)之間分布有多個(gè)支撐軸(13),腳踏連桿(15)前端傾斜向下,后端呈Z字型; 所述腳踏連桿(15)前端設(shè)有連接桿(12); 所述腳踏連桿(15)前端頭設(shè)有圓孔,通過(guò)鉸鏈桿(24)與拉桿(5)連接; 所述腳踏連桿后端設(shè)有停止塊(14),其尾部通過(guò)螺釘連接腳踏桿(4); 所述拉桿(5)兩側(cè)均設(shè)有鎖止座(6),鎖止塊(7)通過(guò)鉸鏈銷(25)安裝在鎖止座(6)上; 所述鎖止塊(7)通過(guò)等高螺栓(22)與拉桿(5)相連; 所述彈簧支柱(19)穿過(guò)連接桿(12)中心與拉簧(20)一端連接;拉簧(20)另一端與中間板(3)連接; 所述調(diào)整螺栓(23)穿過(guò)鎖止座(6)設(shè)置在鎖止塊(7)上,其中鎖止塊(7)與鎖止座之間的調(diào)整螺栓上設(shè)有鎖止塊彈簧(16); 所述直線軸承(17)通過(guò)螺釘連接在立板兩側(cè)的中間板下端面上,且對(duì)稱設(shè)置;直線軸承(17)一端安裝頂軸(9),另一端安裝尼龍撞塊(11),頂軸彈簧(18)設(shè)置在尼龍撞塊(11)與直線軸承(17)之間,尼龍墊(10)設(shè)置在頂軸彈簧(18)與直線軸承(17)之間; 所述鎖止塊(7)呈L型,其前側(cè)下端設(shè)有導(dǎo)向斜面(26),鎖止塊(7)在推力的作用下接觸到SEMIE83接口定位板時(shí)繞鉸鏈銷(25)旋轉(zhuǎn),通過(guò)導(dǎo)向斜面過(guò)渡后,在鎖止塊彈簧作用下卡入SEMIE83接口定位板的卡槽內(nèi),同時(shí)尼龍撞塊(11)也插入到SEMIE83接口定位板圓槽內(nèi),實(shí)現(xiàn)橫向和縱向的定位鎖止。

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