中國科學院合肥物質科學研究院羅海燕獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉中國科學院合肥物質科學研究院申請的專利點掃描缺陷檢測位置觸發與同步采集系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223272421U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421782827.8，技術領域涉及：G01N21/64；該實用新型點掃描缺陷檢測位置觸發與同步采集系統是由羅海燕;汝玉;金偉;周佐達;瞿頂軍;丁睿哲;李志偉;熊偉設計研發完成，并于2024-07-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本點掃描缺陷檢測位置觸發與同步采集系統在說明書摘要公布了：本實用新型涉及晶圓表面缺陷檢測技術領域，公開了一種點掃描缺陷檢測位置觸發與同步采集系統。所述系統包括：探測模塊，用于探測晶圓的表面缺陷信號；采集模塊，與所述探測模塊連接，用于采集所述探測模塊探測到的所述晶圓的表面缺陷信號；控制器模塊，與所述采集模塊連接，用于控制所述采集模塊進行采集；運動模塊，與所述控制器模塊連接，所述運動模塊用于放置待檢測的晶圓，用于帶動所述晶圓轉動，以使得所述探測模塊探測所述晶圓上的不同位置。該系統可以提高缺陷檢測采樣點的完整性和缺陷位置精度。
本實用新型點掃描缺陷檢測位置觸發與同步采集系統在權利要求書中公布了：1.一種點掃描缺陷檢測位置觸發與同步采集系統，其特征在于，所述系統包括： 探測模塊，用于探測晶圓的表面缺陷信號； 采集模塊，與所述探測模塊連接，用于采集所述探測模塊探測到的所述晶圓的表面缺陷信號； 控制器模塊，與所述采集模塊連接，用于控制所述采集模塊進行采集，控制器模塊是FPGA； 運動模塊，與所述控制器模塊連接，所述運動模塊用于放置待檢測的晶圓，用于帶動所述晶圓轉動，以使得所述探測模塊探測所述晶圓上的不同位置； 所述探測模塊包括： 探測器，用于探測所述晶圓的表面缺陷信號并輸出電流信號； 模擬前端，與所述探測器連接，用于將所述電流信號放大并轉換成電壓信號。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院合肥物質科學研究院，其通訊地址為：230031 安徽省合肥市蜀山區蜀山湖路350號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號