重慶原石智能裝備有限公司路宙山獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉重慶原石智能裝備有限公司申請的專利一種晶圓檢測用承載裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223273261U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422071062.3，技術領域涉及：H01L21/687；該實用新型一種晶圓檢測用承載裝置是由路宙山設計研發完成，并于2024-08-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓檢測用承載裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種晶圓檢測用承載裝置，包括支撐基座、旋轉電機、轉盤和設置在轉盤上的若干承載機構；所述旋轉電機設置在支撐基座上且旋轉電機的輸出軸豎直向上，所述轉盤設置在旋轉電機上方且與旋轉電機輸出軸連接；所有承載機構沿轉盤的圓周均勻分布且每個承載機構沿著轉盤的徑向延伸至轉盤外，用于承載晶圓；承載機構包括水平設置的支撐梁和用于與轉盤連接的安裝座，支撐梁一端與安裝座固定且支撐梁上表面和安裝座上表面平齊或高于安裝座上表面，支撐梁另一端上表面設有承載塊，承載塊水平設置且承載塊外端上表面設有承載件，承載件為橡膠圈，承載件內底外高傾斜設置。本實用新型不會對晶圓邊緣造成損傷，同時還能有效提高晶圓檢測效率。
本實用新型一種晶圓檢測用承載裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓檢測用承載裝置，其特征在于，包括支撐基座、旋轉電機、轉盤和設置在轉盤上的若干承載機構；所述旋轉電機設置在支撐基座上且旋轉電機的輸出軸豎直向上，所述轉盤設置在旋轉電機上方且與旋轉電機輸出軸連接，便于通過旋轉電機帶動轉盤轉動；所有承載機構沿轉盤的圓周均勻分布且每個承載機構沿著轉盤的徑向延伸至轉盤外，用于承載晶圓； 所述承載機構包括水平設置的支撐梁和用于與轉盤連接的安裝座，支撐梁一端與安裝座固定且支撐梁上表面和安裝座上表面平齊或高于安裝座上表面，支撐梁另一端上表面設有承載塊，承載塊水平設置且承載塊外端上表面設有承載件，所述承載件為橡膠圈，所述承載件內底外高傾斜設置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人重慶原石智能裝備有限公司，其通訊地址為：401133 重慶市江北區兩江新區魚嘴鎮永和路39號10層1021；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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