艾克爾司(嘉善)科技有限公司顏鴻任獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉艾克爾司(嘉善)科技有限公司申請的專利一種用于檢測晶圓邊緣缺口的裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223272397U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422205549.6,技術領域涉及:G01N21/01;該實用新型一種用于檢測晶圓邊緣缺口的裝置是由顏鴻任;周楠設計研發完成,并于2024-09-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于檢測晶圓邊緣缺口的裝置在說明書摘要公布了:一種用于檢測晶圓邊緣缺口的裝置,其包括一個打光組件,以及一個取相組件,所述打光組件包括一個環形底座,一個環形滑軌,一個設背光模組,一個晶圓臺,以及一個發光體。本用于檢測晶圓邊側缺口的裝置通過設置所述背光模組,并設置一個環形滑軌,所述環形滑軌上滑動設置有一個發光體,從而可以根據不同的晶圓來調節所述發光體最佳照射角度和高度,無需使用多組發光體,減少了成本且減少了占用空間,所述背光模組能夠反射所述發光體的光線,進一步節省了對發光體數量的需求。
本實用新型一種用于檢測晶圓邊緣缺口的裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于檢測晶圓邊緣缺口的裝置,其特征在于:所述用于檢測晶圓邊緣缺口的裝置包括一個打光組件,以及一個設置在所述打光組件一側的取相組件,所述打光組件包括一個環形底座,一個設置在所述環形底座頂部的環形滑軌,一個設置在所述環形底座中間的背光模組,一個設置在所述背光模組頂部的晶圓臺,以及一個滑動設置在所述環形滑軌上的發光體,所述環形滑軌和所述環形底座同心,所述取相組件包括一個弧形桿,一個設置在所述弧形桿一側的弧形滑軌,以及一個滑動設置在所述弧形滑軌上的攝像頭組件,所述攝像頭組件的拍攝方向朝向所述弧形滑軌的圓心,所述晶圓臺的頂部放置有一個晶圓,所述攝像頭組件的拍攝范圍位于晶圓的邊緣。
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