江蘇魯汶儀器股份有限公司胡少謙獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇魯汶儀器股份有限公司申請的專利一種壓環組件、承托裝置及離子束設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223273254U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422324936.1,技術領域涉及:H01L21/683;該實用新型一種壓環組件、承托裝置及離子束設備是由胡少謙;桑康;陳龍保;胡冬冬;馮家莉;劉朋飛;許開東設計研發完成,并于2024-09-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種壓環組件、承托裝置及離子束設備在說明書摘要公布了:本實用新型公開的一種壓環組件、承托裝置及離子束設備,包括壓環主體和壓環導柱,所述壓環主體具有導柱固定孔,所述壓環導柱的第一端通過滑動件連接于所述導柱固定孔,所述導柱固定孔為條形孔,所述滑動件在所述導柱固定孔內,且與所述導柱固定孔之間具有變形冗余間隙。本實用新型提供的壓環組件,壓環導柱的第一端通過滑動件連接于導柱固定孔內,且導柱固定孔為條形孔,使得在壓環主體和壓環導柱受熱變形,且二者的變形量不同時,滑動件能夠在條形孔內移動,以抵消壓環主體和壓環導柱的變形量差異,從而避免了因應力導致的斷裂問題。
本實用新型一種壓環組件、承托裝置及離子束設備在權利要求書中公布了:1.一種壓環組件,其特征在于,包括壓環主體(110)和壓環導柱(120),所述壓環主體(110)具有導柱固定孔,所述壓環導柱(120)的第一端通過滑動件連接于所述導柱固定孔,所述導柱固定孔為條形孔,所述滑動件在所述導柱固定孔內,且與所述導柱固定孔之間具有變形冗余間隙。
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