互創(無錫)新材料有限公司金輝哲獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉互創(無錫)新材料有限公司申請的專利一種半導體靜電吸盤結構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223273255U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422334192.1，技術領域涉及：H01L21/683；該實用新型一種半導體靜電吸盤結構是由金輝哲;肖明設計研發完成，并于2024-09-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體靜電吸盤結構在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種半導體靜電吸盤結構，其包括：真空吸盤，真空吸盤中間段設置有底端靜電發生塊，底端靜電發生塊外端轉動連接有轉動清掃環，轉動清掃環上端固定連接有灰塵清掃板，灰塵清掃板與真空吸盤卡合，真空吸盤外端固定連接有邊緣密封帶；連接固定環，連接固定環為兩段結構，連接固定環之間設置有密封連接塊，密封連接塊之間螺紋連接有第二固定螺栓，連接固定環之間固定連接有防滑抓手。通過在固定連接保護柱的外端設置雙層結構的連接固定環與防滑抓手，方便吸盤結構的抓取與更換，提高真空吸盤結構的使用效率。通過在底端靜電發生塊外端設置轉動清掃環結構，帶動灰塵清掃板轉動，將灰塵集中在相應位置，方便對真空吸盤進行清潔。
本實用新型一種半導體靜電吸盤結構在權利要求書中公布了：1.一種半導體靜電吸盤結構，其特征在于，包括： 真空吸盤1，所述真空吸盤1中間段設置有底端靜電發生塊14，所述底端靜電發生塊14外端轉動連接有轉動清掃環15，所述轉動清掃環15上端固定連接有灰塵清掃板16，所述灰塵清掃板16與真空吸盤1卡合，所述真空吸盤1外端固定連接有邊緣密封帶2； 連接固定環5，所述連接固定環5為兩段結構，所述連接固定環5之間設置有密封連接塊12，所述密封連接塊12之間螺紋連接有第二固定螺栓13，所述連接固定環5之間固定連接有防滑抓手6。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人互創(無錫)新材料有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區行創四路25號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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