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龍圖騰網(wǎng)獲悉大連皓宇電子科技有限公司申請的專利一種晶圓搬運機械手獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223273263U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422400128.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該實用新型一種晶圓搬運機械手是由李玉慧;張正中;滕文聰;趙越設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-09-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓搬運機械手在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種晶圓搬運機械手，包括：取片叉、擺臂部、轉(zhuǎn)盤、基座法蘭、伸縮驅(qū)動裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置；所述轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述基座法蘭上，所述擺臂部安裝在轉(zhuǎn)盤上，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，所述伸縮驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動擺臂部動作，使所述擺臂部帶動所述取片叉伸展或者收縮；所述取片叉上設(shè)有放置晶圓的卡槽，所述取片叉遠離擺臂部的一端設(shè)有真空吸盤，所述取片叉內(nèi)部設(shè)有與真空吸盤連接的真空氣道。以在不擴展晶圓搬運機械手的行程范圍和增加取片叉長度的前提下，使設(shè)有晶圓緩存結(jié)構(gòu)的化學(xué)氣相沉積設(shè)備內(nèi)的晶圓能夠正常搬運。

本實用新型一種晶圓搬運機械手在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓搬運機械手，其特征在于，包括：取片叉1、擺臂部2、轉(zhuǎn)盤3、基座法蘭4、伸縮驅(qū)動裝置5和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置6； 所述轉(zhuǎn)盤3轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述基座法蘭4上，所述擺臂部2安裝在轉(zhuǎn)盤3上，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置6能夠驅(qū)動轉(zhuǎn)盤3轉(zhuǎn)動，所述伸縮驅(qū)動裝置5能夠驅(qū)動擺臂部2動作，使所述擺臂部2帶動所述取片叉1伸展或者收縮； 所述取片叉1上設(shè)有放置晶圓的卡槽，所述取片叉1遠離擺臂部2的一端設(shè)有真空吸盤104，所述取片叉1內(nèi)部設(shè)有與真空吸盤104連接的真空氣道。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人大連皓宇電子科技有限公司，其通訊地址為：116000 遼寧省大連市金州區(qū)保稅區(qū)海興街60-2號1571室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。