揚州德滬智能裝備有限公司;德滬涂膜設備(蘇州)有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉揚州德滬智能裝備有限公司;德滬涂膜設備(蘇州)有限公司申請的專利磁控濺射用平面陰極及磁控濺射裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223268739U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422633933.6，技術領域涉及：C23C14/35；該實用新型磁控濺射用平面陰極及磁控濺射裝置是由請求不公布姓名設計研發完成，并于2024-10-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本磁控濺射用平面陰極及磁控濺射裝置在說明書摘要公布了：本實用新型屬于磁控濺射技術領域，公開了一種磁控濺射用平面陰極及磁控濺射裝置。該磁控濺射用平面陰極包括陰極體和冷卻組件，冷卻組件和陰極體可拆卸連接，冷卻組件包括換熱板，換熱板的第一表面與陰極體貼合設置，冷卻組件內循環流通有冷卻介質，以使換熱板與陰極體進行換熱。通過冷卻組件外置，以及換熱板和陰極體貼合設置，使得該磁控濺射用平面陰極在保證冷卻效果的同時，避免了冷卻介質和平面陰極直接接觸，提高了平面陰極的使用壽命和使用效果，從而提高了該磁控濺射裝置的可靠性。
本實用新型磁控濺射用平面陰極及磁控濺射裝置在權利要求書中公布了：1.磁控濺射用平面陰極，其特征在于，包括陰極體10和冷卻組件20，所述冷卻組件20和所述陰極體10可拆卸連接，所述冷卻組件20包括換熱板21，所述換熱板21的第一表面與所述陰極體10貼合設置，所述冷卻組件20內循環流通有冷卻介質，以使所述換熱板21與所述陰極體10進行換熱。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人揚州德滬智能裝備有限公司;德滬涂膜設備(蘇州)有限公司，其通訊地址為：225009 江蘇省揚州市開發區揚子江中路186號智谷科技綜合體C棟17層17-3；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
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