北京中科科儀股份有限公司許鵬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京中科科儀股份有限公司申請的專利一種分子泵測試系統及測試方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119641682B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411790768.3，技術領域涉及：F04D27/00；該發明授權一種分子泵測試系統及測試方法是由許鵬設計研發完成，并于2024-12-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種分子泵測試系統及測試方法在說明書摘要公布了：本發明涉及分子泵測試技術領域，具體涉及一種分子泵測試系統及測試方法。一種分子泵測試系統，包括：分子泵組件，所述分子泵組件包括待測分子泵，所述待測分子泵具有容納腔；輸送管路；粉塵生成組件，所述待測分子泵通過輸送管路與粉塵生成組件連通，所述粉塵生成組件產生的粉塵通過輸送管路輸送至待測分子泵的容納腔內。本發明提供了一種分子泵測試系統及測試方法，以解決現有的分子泵在耐粉塵測試過程中，往往通過實際半導體設備驗證，存在實驗周期長、結果難以定量分析的問題。
本發明授權一種分子泵測試系統及測試方法在權利要求書中公布了：1.一種分子泵測試系統，其特征在于，包括： 分子泵組件2，所述分子泵組件2包括待測分子泵201，所述待測分子泵201具有容納腔； 輸送管路3； 粉塵生成組件1，所述待測分子泵201通過輸送管路3與粉塵生成組件1連通，所述粉塵生成組件1產生的粉塵通過輸送管路3輸送至待測分子泵201的容納腔內； 還包括測試罩組件5，所述測試罩組件5設于待測分子泵201和粉塵生成組件1之間； 所述測試罩組件5包括罩體501，所述罩體501的連通口5011與待測分子泵201連通； 所述測試罩組件5包括第一軸承座502、轉軸506和第二軸承座503，所述罩體501對應設置的側壁上分別設有第一軸承座502和第二軸承座503，所述罩體501的側壁上固定設有第一軸承座502，所述罩體501的側壁連接有第二軸承座503，所述轉軸506分別與第一軸承座502、第二軸承座503連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京中科科儀股份有限公司，其通訊地址為：100190 北京市海淀區中關村北二條13號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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