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龍圖騰網獲悉億芯微半導體科技(深圳)有限公司申請的專利一種晶圓切割保護液及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119776064B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411972288.9，技術領域涉及：C10M173/02；該發明授權一種晶圓切割保護液及其制備方法是由周永強;劉伯陽;王家清;羅旺寶;張仁福設計研發完成，并于2024-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓切割保護液及其制備方法在說明書摘要公布了：一種晶圓切割保護液及其制備方法，其中晶圓切割保原料含有改性水溶性樹脂、有機溶劑、潤濕劑、pH調節劑、紫外線吸收劑和水。所述改性水溶性樹脂由乙酸乙烯酯、乙基?3?1?吡咯烷基丙烯酸乙酯和3,3?二甲基丙烯酸甲酯通過自由基聚合反應得到共聚物，然后將共聚物醇解后得到改性聚乙烯醇。本發明的有益效果如下：本發明通過使用由乙酸乙烯酯、乙基?3?1?吡咯烷基丙烯酸乙酯和3,3?二甲基丙烯酸甲酯共聚物構成的改性水溶性樹脂，能在晶圓表面快速形成保護膜，同時使用純水即可將所述晶圓切割保護液形成的保護膜層完全去除。本發明的晶圓切割保護液能夠在晶圓激光切割時切割線筆直無崩邊現象，而且還可以有效避免燒結產生。

本發明授權一種晶圓切割保護液及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓切割保護液，其特征在于：原料含有改性水溶性樹脂、有機溶劑、潤濕劑、pH調節劑、紫外線吸收劑和水； 所述改性水溶性樹脂由乙酸乙烯酯、乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯和3,3-二甲基丙烯酸甲酯通過自由基聚合反應得到共聚物，然后將共聚物醇解后得到改性聚乙烯醇； 以重量份計， 改性水溶性樹脂：30份～50份； 有機溶劑：10份～20份； 潤濕劑：1份～3份； pH調節劑：0.5份～2份； 紫外線吸收劑：1份～5份； 余量為水，全部組分的總量按100份計； 在所述改性水溶性樹脂中，以重量份計， 乙酸乙烯酯：30份～50份； 乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯：5份～10份； 3,3-二甲基丙烯酸甲酯：3份～8份； 甲醇Ⅰ：50份～80份； 甲醇Ⅱ：20份～50份； 甲醇Ⅲ：100份～200份； NaOH甲醇溶液：100份～150份； 引發劑：0.1份～1份； 所述改性水溶性樹脂由如下步驟制備： S1、在氮氣保護下加入3,3-二甲基丙烯酸甲酯和乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯，控制溫度為50℃～60℃，得到混合液； S2、將乙酸乙烯酯加入甲醇Ⅰ中，溫度控制在0℃～5℃，得到溶液Ⅰ；將引發劑加入甲醇Ⅱ中，溫度控制在0℃～5℃，得到溶液Ⅱ； S3、將S1得到的混合液控制溫度在50℃～60℃范圍內，然后同時向混合液中加入溶液Ⅰ和溶液Ⅱ，且溶液Ⅰ和溶液Ⅱ的加入時間相同，均為30min～60min，進入S4； S4、繼續反應5h～8h得到乙酸乙烯酯、乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯和3,3-二甲基丙烯酸甲酯的共聚物，在溫度為30℃～60℃，壓力為1.5kPa至3.0kPa下蒸餾2h～3h，進入S5； S5、將S4得的共聚物溶于甲醇Ⅲ，加入濃度為10%gL-20%gL的NaOH甲醇溶液，在溫度為40℃～60℃下醇解2h～3h得到改性水溶性樹脂。

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