買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉北京青耘科技有限公司申請的專利晶圓對準(zhǔn)方法及晶圓鍵合方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120184076B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510668348.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)晶圓對準(zhǔn)方法及晶圓鍵合方法是由繆威設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-05-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓對準(zhǔn)方法及晶圓鍵合方法在說明書摘要公布了：本申請涉及一種晶圓對準(zhǔn)方法及晶圓鍵合方法，包括：分別以第一晶圓和第二晶圓為目標(biāo)晶圓。選取目標(biāo)晶圓上位于第一基準(zhǔn)線一側(cè)的至少兩個第一目標(biāo)標(biāo)記；位于第一基準(zhǔn)線另一側(cè)的至少兩個第二目標(biāo)標(biāo)記；至少兩個第一目標(biāo)標(biāo)記和至少兩個第二目標(biāo)標(biāo)記均分別位于第二基準(zhǔn)線的兩側(cè)。獲取各第一目標(biāo)標(biāo)記的第一角度數(shù)據(jù)以及各第二目標(biāo)標(biāo)記的第二角度數(shù)據(jù)。根據(jù)第一角度數(shù)據(jù)確定第一角度偏移量，根據(jù)第二角度數(shù)據(jù)確定第二角度偏移量。根據(jù)第一角度偏移量和第二角度偏移量確定對應(yīng)的目標(biāo)晶圓的平均角度偏移量。根據(jù)第一晶圓的平均角度偏移量和第二晶圓的平均角度偏移量進(jìn)行晶圓角度對準(zhǔn)。本申請能匹配于晶圓制程的中心對稱效應(yīng)，提高角度偏移量測的精準(zhǔn)性。

本發(fā)明授權(quán)晶圓對準(zhǔn)方法及晶圓鍵合方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓對準(zhǔn)方法，其特征在于，用于對第一晶圓和第二晶圓進(jìn)行對準(zhǔn)；所述晶圓對準(zhǔn)方法包括： 分別以所述第一晶圓和所述第二晶圓為目標(biāo)晶圓； 選取所述目標(biāo)晶圓上位于第一基準(zhǔn)線一側(cè)的至少兩個晶圓對準(zhǔn)標(biāo)記為第一目標(biāo)標(biāo)記，并選取所述目標(biāo)晶圓上位于所述第一基準(zhǔn)線另一側(cè)的至少兩個晶圓對準(zhǔn)標(biāo)記為第二目標(biāo)標(biāo)記；其中，至少兩個所述第一目標(biāo)標(biāo)記分別位于第二基準(zhǔn)線的兩側(cè)，至少兩個第二目標(biāo)標(biāo)記分別位于所述第二基準(zhǔn)線的兩側(cè)；所述第二基準(zhǔn)線與所述第一基準(zhǔn)線正交； 確定所述第一基準(zhǔn)線和所述第二基準(zhǔn)線的交點(diǎn)為基準(zhǔn)點(diǎn)； 根據(jù)至少兩個所述第一目標(biāo)標(biāo)記的幾何中心與所述基準(zhǔn)點(diǎn)之間的直線連線與所述第一基準(zhǔn)線之間的夾角確定所述第一目標(biāo)標(biāo)記的第一角度數(shù)據(jù)，根據(jù)至少兩個所述第二目標(biāo)標(biāo)記的幾何中心與所述基準(zhǔn)點(diǎn)之間的直線連線與所述第一基準(zhǔn)線之間的夾角確定所述第二目標(biāo)標(biāo)記的第二角度數(shù)據(jù)； 根據(jù)所述第一角度數(shù)據(jù)確定所述第一目標(biāo)標(biāo)記的第一角度偏移量，根據(jù)所述第二角度數(shù)據(jù)確定所述第二目標(biāo)標(biāo)記的第二角度偏移量； 根據(jù)所述第一角度偏移量和所述第二角度偏移量確定對應(yīng)的目標(biāo)晶圓相對于晶圓機(jī)臺的平均角度偏移量； 根據(jù)所述第一晶圓的平均角度偏移量和所述第二晶圓的平均角度偏移量進(jìn)行所述第一晶圓和所述第二晶圓之間的角度對準(zhǔn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京青耘科技有限公司，其通訊地址為：100089 北京市海淀區(qū)中關(guān)村大街18號11層1119-38；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。