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龍圖騰網(wǎng)獲悉藍(lán)河科技(紹興)有限公司申請的專利氣體分配裝置和半導(dǎo)體設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120291061B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202510756690.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該發(fā)明授權(quán)氣體分配裝置和半導(dǎo)體設(shè)備是由劉永明;周慧娟;張偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-09向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本氣體分配裝置和半導(dǎo)體設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種氣體分配裝置和半導(dǎo)體設(shè)備，氣體分配裝置包括蓋體，設(shè)有進(jìn)氣部；噴淋件，活動(dòng)設(shè)于蓋體，與蓋體之間形成有與進(jìn)氣部相通的擴(kuò)散腔；升降隔離裝置，包括隔板部和升降部，升降部活動(dòng)套設(shè)于隔板部，頂部與蓋體相貼合以使升降部分別與隔板部和蓋體之間均產(chǎn)生相互作用力，隔板部設(shè)于噴淋件以與升降部將擴(kuò)散腔圍成不同氣室；驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)于噴淋件底部并延伸至蓋體外，通過控制驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)噴淋件和隔板部遠(yuǎn)離或朝向蓋體運(yùn)動(dòng)，使升降部頂部朝向或遠(yuǎn)離蓋體運(yùn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)升降隔離裝置所圍區(qū)域的容積。半導(dǎo)體設(shè)備，包括氣體分配裝置，以及與氣體分配裝置相對設(shè)置并用于承載基片的基座。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)提高氣流調(diào)整靈活度，提升設(shè)備兼容性。

本發(fā)明授權(quán)氣體分配裝置和半導(dǎo)體設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氣體分配裝置，其特征在于，包括： 蓋體100，設(shè)有進(jìn)氣部； 噴淋件200，活動(dòng)設(shè)于所述蓋體100，與所述蓋體100之間形成有與所述進(jìn)氣部相通的擴(kuò)散腔300； 升降隔離裝置400，包括隔板部410和升降部420，所述升降部420活動(dòng)套設(shè)于所述隔板部410，頂部與所述蓋體100相貼合以使所述升降部420分別與隔板部410和所述蓋體100之間均產(chǎn)生相互作用力，所述隔板部410設(shè)于所述噴淋件200以與所述升降部420將所述擴(kuò)散腔300圍成不同氣室； 驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)于所述噴淋件200底部并延伸至所述蓋體100外，通過控制所述驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)所述噴淋件200和所述隔板部410遠(yuǎn)離或朝向所述蓋體100運(yùn)動(dòng)，使所述升降部420頂部朝向或遠(yuǎn)離蓋體100運(yùn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)所述升降隔離裝置400所圍區(qū)域的容積。

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