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龍圖騰網獲悉上海邦芯半導體科技有限公司申請的專利晶圓傳送設備及其安全檢測系統和檢測方法、控制裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120319696B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510788877.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權晶圓傳送設備及其安全檢測系統和檢測方法、控制裝置是由徐昕;王兆祥;桂智謙;涂樂義;梁潔;仲凱;方子豪;曹天俊;譚小龍設計研發完成，并于2025-06-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓傳送設備及其安全檢測系統和檢測方法、控制裝置在說明書摘要公布了：本公開提供晶圓傳送設備及其安全檢測系統和檢測方法、控制裝置。安全檢測系統包括障礙物檢測裝置和控制裝置，障礙物檢測裝置包括至少一動態檢測模組，用于受控沿預設的檢測路徑移動并生成動態檢測信號，至少一動態檢測模組沿預設的檢測路徑移動形成的檢測范圍覆蓋傳送機器人的作業區域；控制裝置與至少一動態檢測模組通信連接，用于控制至少一動態檢測模組執行安全檢測，根據動態檢測信號而判斷檢測范圍內是否存在障礙物，在確定存在障礙物時采取應對措施。安全檢測系統結構簡單、能對傳送機器人的作業區域執行全面且快速的安全檢測，在檢測到障礙物時采取有效的應對措施，避免傳送機器人因路徑障礙物引發碰撞事故。

本發明授權晶圓傳送設備及其安全檢測系統和檢測方法、控制裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓傳送設備的安全檢測系統，其特征在于，所述晶圓傳送設備包括傳送腔體和設于所述傳送腔體內的傳送機器人，所述傳送腔體包括至少一進料口和至少一出料口；所述安全檢測系統包括： 障礙物檢測裝置，包括至少一動態檢測模組；所述至少一動態檢測模組設置于所述傳送腔體內，用于受控沿預設的檢測路徑移動并生成動態檢測信號；其中，所述至少一動態檢測模組沿預設的檢測路徑移動形成的檢測范圍覆蓋所述傳送機器人的作業區域；所述動態檢測模組包括檢測模塊和與所述檢測模塊關聯的移動驅動機構，所述移動驅動機構用于驅動所述檢測模塊沿預設的檢測路徑移動；以及 控制裝置，與所述檢測裝置中的至少一動態檢測模組通信連接，用于向所述至少一動態檢測模組發送檢測指令以令所述至少一動態檢測模組中的移動驅動機構驅動關聯的檢測模塊沿預設的檢測路徑移動進行巡檢以覆蓋到傳送機器人的作業區域，根據所述至少一動態檢測模組的動態檢測信號而判斷檢測范圍內是否存在障礙物，并在確定存在障礙物時采取應對措施。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海邦芯半導體科技有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區平霄路358號7號廠房、9號廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。