京隆科技(蘇州)有限公司秦志遠獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉京隆科技(蘇州)有限公司申請的專利一種晶圓盒裝出貨檢測設備、方法及應用獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120369633B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510858945.5,技術領域涉及:G01N21/01;該發明授權一種晶圓盒裝出貨檢測設備、方法及應用是由秦志遠設計研發完成,并于2025-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓盒裝出貨檢測設備、方法及應用在說明書摘要公布了:本發明公開了一種晶圓盒裝出貨檢測設備、方法及應用。所述設備包括:定位模塊、反射模塊、圖像獲取模塊和圖像處理模塊;反射模塊包括長條形反射鏡以及多個定位標記,長條形反射鏡的長度方向與晶圓的軸向平行,定位標記與晶圓的容置位置一一對應;圖像獲取模塊至少拍攝晶圓在反射鏡中的反射像以及定位標記形成檢驗圖像;圖像處理模塊中包含圖像識別模型,用于基于識別晶圓所處的實際容置位置與目標容置位置是否匹配。本發明利用鏡面反射成像來得到晶圓在晶圓盒中放置的檢驗圖像,避免燈光直射引起的雜散干擾,同時利用反射面上設置的定位標記輔助圖像識別模型來進行晶圓圖形的識別,顯著提高識別速度和準確性。
本發明授權一種晶圓盒裝出貨檢測設備、方法及應用在權利要求書中公布了:1.一種晶圓盒裝出貨檢測設備,用于檢測晶圓盒中的內容物是否正確放置,所述內容物包括晶圓,其特征在于,所述晶圓盒裝出貨檢測設備包括:定位模塊、反射模塊、圖像獲取模塊和圖像處理模塊; 所述定位模塊用于定位所述晶圓盒的姿態;所述反射模塊包括設置于當所述晶圓盒被定位時所述晶圓盒旁邊的長條形反射鏡以及設置于所述長條形反射鏡的反射面上的多個定位標記,所述長條形反射鏡的長度方向與所述晶圓的軸向平行,所述定位標記與所述晶圓的容置位置一一對應; 所述圖像獲取模塊至少拍攝所述晶圓在所述反射鏡中的反射像以及所述定位標記,形成檢驗圖像;所述圖像處理模塊中包含圖像識別模型,所述圖像識別模型用于基于所述檢驗圖像識別所述晶圓所處的實際容置位置與目標容置位置是否匹配。
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