買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利載置臺、基板處理裝置以及導熱氣體供給方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113053717B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011500750.7，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權載置臺、基板處理裝置以及導熱氣體供給方法是由佐竹大輔設計研發完成，并于2020-12-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本載置臺、基板處理裝置以及導熱氣體供給方法在說明書摘要公布了：本發明涉及載置臺、基板處理裝置以及導熱氣體供給方法。能夠防止載置臺的接合所使用的粘接劑的劣化。提供載置臺，其具有：銷貫穿路徑，其構成為貫穿用于載置基板的載置臺，供升降銷貫穿；導熱氣體供給路徑，其構成為貫穿所述載置臺，用于向所述載置臺的載置面導入導熱氣體；共用氣體供給路徑，其構成為使所述銷貫穿路徑和所述導熱氣體供給路徑連通，供導熱氣體流通；以及第1構件，其構成為在所述銷貫穿路徑和所述共用氣體供給路徑相交的位置以與所述共用氣體供給路徑相面對的方式配置，用于調整從所述銷貫穿路徑向所述載置臺的載置面上導入的導熱氣體的流量。

本發明授權載置臺、基板處理裝置以及導熱氣體供給方法在權利要求書中公布了：1.一種載置臺，其中， 該載置臺具有： 導電性的基臺，其配置于腔室內； 電極，其配置于所述基臺的上部；以及 靜電卡盤，其配置于所述電極的上部， 其中，在所述靜電卡盤形成有： 第1銷貫穿孔，其從所述靜電卡盤的上表面貫穿至所述靜電卡盤的下表面，供升降銷貫穿；以及 第1導熱氣體供給孔，其從所述靜電卡盤的上表面貫穿至所述靜電卡盤的下表面，所述第1導熱氣體供給孔不同于所述第1銷貫穿孔， 在所述電極形成有： 第2銷貫穿孔，其從所述電極的上表面貫穿至所述電極的下表面，所述第2銷貫穿孔與所述第1銷貫穿孔連通；以及 第2導熱氣體供給孔，其從所述電極的上表面貫穿至所述電極的下表面，所述第2導熱氣體供給孔與所述第1導熱氣體供給孔連通， 在所述基臺形成有第3銷貫穿路徑，所述第3銷貫穿路徑從所述基臺的上表面貫穿至所述基臺的下表面，所述第3銷貫穿路徑與所述第2銷貫穿孔連通， 其中，所述第2銷貫穿孔與所述第2導熱氣體供給孔經由形成于所述電極的下表面與所述基臺的上表面之間的共用氣體供給路徑而連通， 其中，所述第1銷貫穿孔與所述第2銷貫穿孔以垂直于所述靜電卡盤的上表面的方式連通， 其中，在所述基臺的上表面形成有與所述第2銷貫穿孔連通的凹部， 其中，在所述凹部配置有第1構件，所述第1構件具備沿周向形成的多個突出部， 其中，所述第2銷貫穿孔與所述共用氣體供給路徑經由形成于多個所述突出部之間的槽而連通。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。