株式會社國際電氣奧野正則獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社國際電氣申請的專利處理裝置、顯示方法、半導體器件的制造方法及記錄介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114946011B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180008253.1,技術領域涉及:H01L21/02;該發明授權處理裝置、顯示方法、半導體器件的制造方法及記錄介質是由奧野正則;川崎潤一;森真一朗;城寶泰宏;山崎智美設計研發完成,并于2021-02-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本處理裝置、顯示方法、半導體器件的制造方法及記錄介質在說明書摘要公布了:提供一種包含裝置控制器的結構,該裝置控制器具有存儲部,該存儲部至少存儲裝置數據和警報分析表格,其中,該裝置數據至少包括包含傳感信息的監控數據及表示各控制器基于上述傳感信息檢測到的障礙的警報,該警報分析表格至少包括用于分析警報的原因的分析項目,上述裝置控制器構成為若檢測到上述障礙則輸出上述警報,能夠確定與上述分析項目相對應的監控數據,顯示上述警報的發生歷史和包含警報發生時的與上述分析項目相對應的監控數據的收集歷史。
本發明授權處理裝置、顯示方法、半導體器件的制造方法及記錄介質在權利要求書中公布了:1.一種處理裝置,包括具有存儲部的裝置控制器,該存儲部至少存儲裝置數據和警報分析表格,其中,該裝置數據至少包括包含傳感信息的監控數據及表示基于所述傳感信息檢測到的障礙的警報,該警報分析表格至少包括用于分析警報的原因的分析項目,所述處理裝置的特征在于, 所述裝置控制器構成為, 若檢測到所述障礙則輸出包含用于對表示障礙的警報的種類進行確定的警報ID及警報的發生時刻的所述警報, 能夠從所述警報ID確定所述分析項目的候選,獲取與確定出的候選相對應的多個監控數據,將所獲取的所述監控數據與預先決定的閾值進行比較,根據警報發生時刻的所述監控數據的值與所述閾值之差在所述警報的原因中決定某個序位,并在顯示畫面上以時序顯示所述監控數據的值與所述閾值的關系,其中,該顯示畫面分別具有:顯示所述警報的發生歷史的區域;和按照所述序位將所獲取的多個所述監控數據的收集歷史與所述監控數據的值和所述序位、所述閾值及警報發生時刻一起顯示的區域, 所述警報分析表格還包括用于識別所述警報的警報ID、表示用于對該警報ID所示的警報的原因進行分析的分析項目的數量的項目數、和用于確定該分析項目的分析項目編號, 所述裝置控制器構成為能夠受理包含所述警報ID的所述警報的原因分析請求,以所述警報ID對所述警報分析表格進行檢索,獲取所述項目數及所述分析項目編號,并確定成為所述警報的原因的項目的候選。
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