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龍圖騰網(wǎng)獲悉日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司申請(qǐng)的專利吸盤裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113903700B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111107246.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)吸盤裝置是由葉佑宏;呂秉修;盧昱霖;黃泰源設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本吸盤裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本公開涉及一種吸盤裝置。該裝置包括：外框，具有第一表面；吸附部件，設(shè)置于第一表面，吸附部件包括復(fù)數(shù)個(gè)呈同心圓設(shè)置的圓形溝槽和兩個(gè)貫穿每一圓形溝槽的直線溝槽，其中，兩個(gè)直線溝槽交叉設(shè)置并夾設(shè)有一銳角。通過(guò)將貫穿每個(gè)每一圓形溝槽的兩個(gè)直角溝槽交叉設(shè)置并夾設(shè)有一銳角，有利于負(fù)壓氣流形成，以減少真空建立失敗的情況發(fā)生。

本發(fā)明授權(quán)吸盤裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種吸盤裝置，包括： 外框，具有第一表面，所述外框的長(zhǎng)度與當(dāng)前機(jī)臺(tái)的尺寸相匹配； 吸附部件，設(shè)置于所述第一表面，所述吸附部件包括復(fù)數(shù)個(gè)呈同心圓設(shè)置的圓形溝槽和兩個(gè)貫穿每一圓形溝槽的直線溝槽，其中，兩個(gè)直線溝槽交叉設(shè)置并夾設(shè)有一銳角； 所述吸附部件設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)包括與圓形溝槽同圓心設(shè)置的定位平面和設(shè)置于所述定位平面的復(fù)數(shù)個(gè)定位凹槽，所述復(fù)數(shù)個(gè)圓形溝槽的頂端與所述定位平面基本共面； 所述定位平面用于限制基板與所述吸附部件保持平面對(duì)接，以使所述基板被平行吸附于所述吸附部件上，所述定位凹槽用于限制所述基板與所述吸附部件的相對(duì)位置。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司，其通訊地址為：中國(guó)臺(tái)灣高雄市楠梓加工區(qū)經(jīng)三路26號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。