上海新陽半導體材料股份有限公司;上海芯刻微材料技術有限責任公司方書農獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海新陽半導體材料股份有限公司;上海芯刻微材料技術有限責任公司申請的專利一種i線光刻膠及其制備方法和應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116107162B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111322698.5，技術領域涉及：G03F7/004；該發明授權一種i線光刻膠及其制備方法和應用是由方書農;王溯;耿志月;崔中越設計研發完成，并于2021-11-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種i線光刻膠及其制備方法和應用在說明書摘要公布了：本發明公開了一種i線光刻膠及其制備方法和應用。本發明公開的i線光刻膠組合物的制備方法包括下列步驟：將i線光刻膠組合物的各組分混合均勻，即可；所述i線光刻膠組合物包括以下組分：樹脂、光敏劑、有機硅流平劑和有機溶劑；所述樹脂包括下述重量份數的組分：80?90份酚醛樹脂、20?50份樹脂C和10?15份樹脂D；所述酚醛樹脂為酚醛樹脂A和酚醛樹脂B的至少一種。采用本發明的i線光刻膠組合物在用于i線光刻時得到的光刻膠圖光敏性和分辨率高。
本發明授權一種i線光刻膠及其制備方法和應用在權利要求書中公布了：1.一種i線光刻膠組合物的制備方法，其特征在于，其包括下列步驟：將i線光刻膠組合物的各組分混合均勻，即可； 所述i線光刻膠組合物包括以下組分：樹脂、光敏劑、有機硅流平劑和有機溶劑； 所述樹脂包括下述重量份數的組分：80-90份酚醛樹脂、20-25份樹脂C和10-15份樹脂D； 所述酚醛樹脂為酚醛樹脂A和酚醛樹脂B的至少一種； 所述酚醛樹脂A的制備方法包括下列步驟：在草酸的作用下，將間甲酚、對甲酚、3,5-二甲酚和甲醛進行反應得到； 所述酚醛樹脂B的制備方法包括下列步驟：在草酸的作用下，將間甲酚、對甲酚和甲醛進行反應得到； 所述樹脂C和樹脂D的結構如下所示： 所述有機硅流平劑為聚甲基苯基硅氧烷。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海新陽半導體材料股份有限公司;上海芯刻微材料技術有限責任公司，其通訊地址為：201616 上海市松江區思賢路3600號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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