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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利一種特種氣體安全控制裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117305819B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311269903.5，技術領域涉及：C23C16/52；該發明授權一種特種氣體安全控制裝置是由劉暢;榮延棟;胡云龍;劉旭設計研發完成，并于2022-07-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種特種氣體安全控制裝置在說明書摘要公布了：本發明實施例提供了一種特種氣體安全控制方法和一種半導體工藝設備，該方法包括：獲取腔室的壓力值；在壓力值大于預設壓力閾值的情況下，當需打開第二氣體閥門和第三氣體閥門時，控制第一電路斷開，第二電路和第三電路接通，使第一氣體閥門關閉、第二氣體閥門和第三氣體閥門打開；當需打開第一氣體閥門時，控制第一電路閉合，第二電路和第三電路斷開，使第一氣體閥門打開、第二氣體閥門和第三氣體閥門關閉。通過將閥門互鎖加入電路設計中，使第一氣體分別與第二氣體、第三氣體閥門不會同時開啟，從而避免了軟件控制失效的風險，防止特種氣體之間發生化學反應生成副產物，造成硬件的損壞和人員的傷害，杜絕安全隱患，保護系統和人員安全。

本發明授權一種特種氣體安全控制裝置在權利要求書中公布了：1.一種特種氣體安全控制裝置，其特征在于，應用于半導體工藝設備，所述半導體工藝設備包括工藝腔室；所述控制裝置包括電連接的控制電路和控制器； 所述控制電路包括： 第一電路，用于控制第一氣體對應閥門的通斷； 第二電路，用于控制第二氣體對應閥門的通斷； 第三電路，用于控制第三氣體對應閥門的通斷； 所述控制器用于： 獲取所述工藝腔室的壓力值信號； 在所述壓力值大于預設壓力閾值的情況下，當需要打開所述第二氣體對應閥門和所述第三氣體對應閥門時，控制所述第一電路斷開，控制所述第二電路和所述第三電路接通，以使所述第一氣體對應閥門關閉、所述第二氣體對應閥門和所述第三氣體對應閥門打開；當需要打開所述第一氣體對應閥門時，控制所述第一電路閉合，以及控制所述第二電路和所述第三電路斷開，以使所述第一氣體對應閥門打開、所述第二氣體對應閥門和所述第三氣體對應閥門關閉；以使所述工藝腔室的壓力值大于所述預設壓力閾值時，所述第一氣體對應閥門與所述第二氣體對應閥門不會同時開啟，所述第一氣體對應閥門與所述第三氣體對應閥門不會同時開啟，以防止所述第一氣體、所述第二氣體和所述第三氣體之間發生化學反應生成副產物。

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