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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州聚謙半導(dǎo)體有限公司申請的專利自對準(zhǔn)雙槽MOSFET結(jié)構(gòu)及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115513288B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202211227804.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10D64/27；該發(fā)明授權(quán)自對準(zhǔn)雙槽MOSFET結(jié)構(gòu)及其制造方法是由黃子倫設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-10-09向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本自對準(zhǔn)雙槽MOSFET結(jié)構(gòu)及其制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種自對準(zhǔn)雙槽MOSFET結(jié)構(gòu)及其制造方法，在襯底上形成第一種導(dǎo)電類型的第一半導(dǎo)體層、第二種導(dǎo)電類型的體區(qū)層和第一種導(dǎo)電類型的源區(qū)層后，利用第一硬掩模至第四硬掩模之間的不同刻蝕選擇比，與側(cè)墻工藝相結(jié)合，在第一半導(dǎo)體層中以交替方式形成自對準(zhǔn)的多個(gè)柵溝槽和源溝槽的陣列，柵溝槽中形成有柵氧層和柵極，源溝槽中形成有第二種導(dǎo)電類型的第二半導(dǎo)體層，在柵溝槽和源溝槽之間的第一半導(dǎo)體層上形成有側(cè)墻結(jié)構(gòu)，側(cè)墻之間形成有粘合層。本發(fā)明可節(jié)省光罩，縮小器件面積，并能進(jìn)一步減小電阻，增加電流量和開關(guān)速度，改善了器件性能。

本發(fā)明授權(quán)自對準(zhǔn)雙槽MOSFET結(jié)構(gòu)及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種自對準(zhǔn)雙槽MOSFET結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，包括： 提供一襯底，形成覆蓋于所述襯底上表面上的第一種導(dǎo)電類型的第一半導(dǎo)體層； 在所述第一半導(dǎo)體層中形成位于所述第一半導(dǎo)體層上表面以內(nèi)的第一種導(dǎo)電類型的源區(qū)層，以及形成位于所述源區(qū)層下層的第二種導(dǎo)電類型的體區(qū)層； 在所述第一半導(dǎo)體層的上表面上形成多個(gè)第一硬掩膜層圖形； 在所述第一硬掩膜層圖形上保形形成第二硬掩膜層，并進(jìn)行回刻，在所述第一硬掩膜層圖形兩側(cè)形成第二硬掩膜層圖形，并露出所述第一硬掩膜層圖形的頂部和位于相鄰側(cè)的兩個(gè)所述第二硬掩膜層圖形之間的所述第一半導(dǎo)體層的上表面； 在露出的所述第一半導(dǎo)體層的上表面上覆蓋形成第三硬掩膜層，并進(jìn)行回刻，在位于相鄰側(cè)的兩個(gè)所述第二硬掩膜層圖形之間形成第三硬掩膜層圖形； 去除所述第二硬掩膜層圖形，然后，在所述第一硬掩膜層圖形兩側(cè)和所述第三硬掩膜層圖形兩側(cè)分別形成第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)； 以所述第一側(cè)墻為掩膜，在露出的所述第一半導(dǎo)體層的上表面上向下形成柵溝槽，在所述柵溝槽的內(nèi)壁上形成柵氧層，以及在所述柵氧層以內(nèi)的所述柵溝槽中形成柵極； 在所述柵溝槽上覆蓋形成第四硬掩膜層，并進(jìn)行回刻，在位于相鄰側(cè)的兩個(gè)所述第一側(cè)墻之間形成第四硬掩膜層圖形； 去除所述第一硬掩膜層圖形和所述第三硬掩膜層圖形，然后在露出的所述第一半導(dǎo)體層的上表面上向下形成自對準(zhǔn)于所述柵溝槽之間的源溝槽，以及在所述源溝槽中形成第二種導(dǎo)電類型的第二半導(dǎo)體層； 去除所述第四硬掩膜層圖形，在露出的所述柵溝槽和所述源溝槽上覆蓋形成位于所述第一側(cè)墻之間的粘合層。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蘇州聚謙半導(dǎo)體有限公司，其通訊地址為：215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星湖路328號(hào)創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)園21-A401-001單元；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。